電源及系統啟動方式

　　1、打開設備卷簾蓋。

　　2、打開接線板開關，打開藍色穩壓開關。注意：必須待穩壓電源指示燈由紅色變為綠色？電壓穩定后才可進行后續操作，如電壓不穩定就開始操作，很可能損壞設備。

　　3、按下圓形綠色ON開關，打開系統總電源。

　　4、打開機臺右下方的黑色有機玻璃蓋子，按下白色圓形按鈕啟動電腦主機。

　　5、按下橙色開關power。

　　6、打開顯示器開關，啟動PG-2000軟件和PClink軟件。

　　7、打開顯微鏡左側紅色開關。

　　樣品檢測操作

　　1.按下綠色按鈕start，載物盤移出，按下VAC抽真空鍵，真空泵工作。放入芯片，輕觸芯片看是否吸附牢固，確定樣品放置平整，如不平整則會影響檢測結果并損壞探針。

　　2.芯片放置完畢后再次按下綠色Start鍵，載物盤歸位。

　　3.選取標準芯片，進行影像學習，設定60%的相似度，可以根據需要自行設定然后點擊搜索。

　　4.取任意最近一點，點擊產品設定，選擇自動更新，系統自動顯示出行數、列數以及晶粒間距，點擊產品設定、存儲、名稱、點擊設定名稱，自行輸入名稱后點擊離開。

　　5.點擊晶圓水平，進行影像的水平調節。

　　6.點擊影像掃描，系統自動掃描選取樣品。

　　7.進行接觸檢測，按下UP/DW鍵觀察ES1和ES2指示燈是否亮？亮則說明接觸良好，否則為接觸不良。若接觸不良則需要按下A/Light鍵，打開環形照明燈，從顯微鏡的目鏡中觀察樣品以及針頭位置，調節探針臺的XYZ軸旋鈕，使針頭能正確接觸芯片的電極，直到ES1和ES2指示燈點亮。再次按下UP/DW鍵，完成接觸檢測。

　　8.打開PClink測試連線軟件，用戶名和密碼都是1。進行參數設定，并對檔案進行命名，點擊開始寫檔。

　　9.回到PG2000系統，點擊開始測試。按下綠色Start鍵，設備開始進行檢測。檢測完成后，按下紅色Abort鍵結束檢測。如果在檢測過程中需要暫停，則按下黃色Pause鍵，暫停結束后若仍需繼續檢測，則按下綠色Start鍵，系統繼續對樣品進行檢測。若暫停后要結束檢測，則按下紅色Abort鍵？系統自動終止檢測。

　　10.正常檢測完畢，按下紅色Abort鍵，結束檢測。

　　檢測完成系統關閉過程

　　1、所有檢測完成后，若需關閉系統，則首先要關閉PG2000軟件和PClink軟件，再正常關閉計算機。

　　2、接著關閉顯微鏡左側紅色開關。

　　3、然后關閉橙色POWER開關。

　　4、確定系統中所有開關均已關閉后，最后按下紅色OFF鍵關閉系統總電源。

　　5、關閉系統過程中，必須按照以上步驟操作，否則極易造成設備損壞。

　　6、待系統關閉后，關閉穩壓電源藍色開關，關閉接線板開關。拉下卷簾蓋？檢查無誤后，方可離開。故障備注：設備尚存在一些故障問題，顯微鏡右眼的目鏡是壞的？無法，到樣品，僅能從左眼目鏡進行觀察。

　　7.進行接觸檢測時，正常情況下按下UP/DW鍵觀察ES1和ES2指示燈是否亮。點亮則說明接觸良好？否則為接觸不良，而即使接觸良好？ES1和ES2燈也不亮。對針的時候無法直觀判斷接觸情況，操作難度很大，需要檢修。馬老師說過段時間會有工程師來維修和詳細培訓，維修培訓過后我會對操作手冊進行進一步的完善和修改。