三星電子公司目前正在開發(fā)一款專用于緊湊型數(shù)碼相機(jī)的MEMS快門，并已在相關(guān)學(xué)術(shù)會(huì)議上進(jìn)行過(guò)報(bào)導(dǎo)。

該MEMS快門為直徑2.2mm的圓形，通過(guò)在玻璃基板上成型薄膜實(shí)現(xiàn)。即在玻璃基地上采用ITO（銦錫氧化物）成型透明電極，并在上面覆蓋一層光屏蔽薄膜。光屏蔽薄膜由36塊扇形薄膜組成，每塊扇形角度為10°，形成一個(gè)整圓形狀。每個(gè)扇形片都在圓周處與ITO膜粘貼，并在中心部分卷曲下降，此時(shí)，光屏蔽薄膜處于開放狀態(tài)，使得光能進(jìn)入；當(dāng)給ITO膜和光屏蔽薄膜提供30V電壓時(shí)，兩層膜上產(chǎn)生靜電力，光屏蔽膜將覆蓋整個(gè)ITO膜表面，此時(shí)，光屏蔽薄膜關(guān)閉并阻止光的進(jìn)入。

? ? 在設(shè)計(jì)中，光屏蔽薄膜是可以卷曲的，因?yàn)樗蓛蓪颖∧ば纬?，如，一層薄的Al膜和一層薄的SiN薄膜，兩種材料具有不同的內(nèi)應(yīng)力，卷曲角度可以通過(guò)調(diào)整層厚以及控制每層膜的內(nèi)應(yīng)力來(lái)控制。

? ? 在有些情況下，通過(guò)快速傳輸圖像傳感器收集的圖像數(shù)據(jù)，可不需要在數(shù)碼相機(jī)中安裝快門。然而，如果是傳感器的像素?cái)?shù)很高，如達(dá)到1000萬(wàn)像素時(shí)，由于圖像數(shù)據(jù)傳輸速度的限制，導(dǎo)致單幀的傳輸時(shí)間變得較長(zhǎng)，這使得抓拍告訴移動(dòng)目標(biāo)時(shí)不可避免地產(chǎn)生圖像扭曲。這就是高端數(shù)碼相機(jī)需要有物理阻光這一功能的原因。然而，機(jī)械快門過(guò)于龐大和昂貴，難以用于手機(jī)上的緊湊型相機(jī)中。針對(duì)此，三星公司打算使用MEMS快門技術(shù)解決尺寸和價(jià)格的問(wèn)題。

? ? 但三星電子有關(guān)人士表示，目前還無(wú)法透露更詳細(xì)的技術(shù)細(xì)節(jié)，并稱至少要等到09年底，而且也沒(méi)有提及馬上將這一技術(shù)進(jìn)行商業(yè)化的可能性。 ?