什么是MEMS技術？

　　微機電系統（MEMS）技術使用半導體制造工藝來生產尺寸范圍從小于一微米到幾毫米的小型化機械和機電元件。MEMS設備可以從沒有運動元件的相對簡單的結構到具有多個運動元件的復雜的機電系統。

　　微機電系統不僅用于傳感器，還用于許多領域。除了感知傳感器外，還用于通信模塊，執行器和數據處理設備。它們都是微型機器，其組件的大小從微米（百萬分之一米）到毫米不等。

　　MEMS設備范圍很廣，從沒有任何活動部件的簡單機器到具有多個活動部件的復雜機電系統。這些系統有許多不同類型：磁性，電氣，熱，化學，光學和機械系統。

　　制造MEMS器件需要采用與制造其他半導體電路相同的許多技術：氧化，擴散，離子注入，低壓化學氣相沉積（LPCVD），濺射等。另外，MEMS使用諸如微機械加工的專門工藝。

　　與早期實現相同功能的方法相比，MEMS設備更小，成本更低，功耗更低。它們也非常敏感且非常準確。MEMS器件還具有出色的可重復性，因此還受益于半導體工藝技術固有的嚴格公差。

　　不利的一面是，盡管零件的生產成本非常低，但與設計，鑒定和制造MEMS產品相關的投資卻很大。結果，制造商不太可能為小批量應用開發零件。

　　MEMS器件類型和MEMS應用

　　典型的MEMS傳感器采用機械結構，該機械結構可響應機械或電氣刺激（壓力，運動，加速度，磁場等）而以受控方式運動。其中典型的技術是使用移動來改變可變電容的極板之間的距離。

　　輸出可以采用多種形式：模擬電壓；輸出電壓；標準串行總線，例如SPI或I2C；或在汽車安全氣囊應用中流行的專用協議（例如DSI或PSI5）；無線連接選項包括低功耗藍牙（BLE）。

　　MEMS器件可用作單功能傳感器。在同一封裝中捆綁了多個MEMS類別的模塊；以及高度集成的片上系統（SoC）器件，將MEMS器件，信號調理電子器件甚至嵌入式處理器集成在一個部件中。

　　MEMS技術已通過測量它們對適當MEMS結構的影響而應用于測量許多不同的數量。

　　MEMS陀螺儀通過利用科里奧利加速度來測量角旋轉，該加速度在質量朝向和遠離旋轉中心移動時在MEMS框架上產生力。陀螺儀有單軸，雙軸和三軸版本，適用于不同的應用：例如，雙軸陀螺儀用于游戲和光學圖像穩定，而三軸陀螺儀可滿足汽車遠程信息處理和導航的需求。

　　加速度計還使用框架中的質量來測量靜態加速度（即重力）和動態加速度（例如振動，運動，傾斜，沖擊等）。歸入加速度計的設備包括傾角儀，震動傳感器，腦震蕩傳感器，傾斜傳感器和運動傳感器。加速度計還具有不同的軸組合：在汽車碰撞傳感器中發現單軸設備，在機器人技術，振動監控和防篡改應用中出現三維單元。

　　壓力傳感器通過其在MEMS結構中引起的偏轉來測量壓力。有一些版本可以測量相對于大氣壓的壓力，也可以測量相對于真空密封室的絕對壓力。MEMS壓力傳感器還可以間接測量其他量，例如流體流量，高度和水位。

　　磁力計使用各種物理現象，例如霍爾效應，并測量磁場引起的機械效應。

　　慣性測量單元（IMU）測量線性和通過組合三軸加速度計和陀螺儀成單個單元角加速度;IMU還可以包括磁力計和壓力傳感器，以提供有關設備三維方向和運動的信息：x，y和z軸上的加速度；俯仰，滾動，偏航，高度;。應用包括無人駕駛自動駕駛汽車（UAV），機器人技術和工廠自動化，航空電子設備，智能手機和平板電腦，虛擬現實和游戲。

　　MEMS麥克風通過測量聲波撞擊由可移動膜片和固定背板組成的可變電容元件時的電容變化來工作。它們被廣泛用于空間受限的消費類應用，例如智能手機和平板電腦。

　　MEMS生物傳感器中，生物分子相互作用導致MEMS結構中可測量的運動。例如，在結核?。═B）檢測中，涂有TB抗體的MEMS懸臂在將受感染的血液樣本置于其上時會發生偏轉。

　　MEMS氣體傳感器通過測量在涂覆的傳感器的表面誘導的電阻變化來檢測氣體的存在。該傳感器可以檢測到低濃度的目標氣體，典型響應時間少于一秒。甲濕度傳感器被優化以檢測水蒸汽。

　　RFMEMS開關將靜電驅動的懸臂梁與單獨的驅動器IC結合使用，以代替RF開關應用中不可靠的笨重機電繼電器?？梢允褂枚喾N開關配置：例如，ADI公司的ADGM1304采用SP4T配置，可以處理從DC到14GHz的信號。

　　MEMS光致動器，例如德州儀器（TI）的數字微鏡設備（DMD），使用MEMS技術形成了大量獨立控制的鏡面。每個反光鏡均可在電子控制下傾斜，以在“開啟”和“關閉”狀態之間切換。啟用時，像素將來自投影儀燈泡的光反射到透鏡中，使其顯得明亮。在關閉狀態下，光線會指向其他地方，從而使像素看起來很暗。

　　MEMS振蕩器包含一個諧振器，該諧振器在來自模擬驅動器芯片的靜電激勵下振動。MEMS振蕩器可以產生1Hz至數百MHz的頻率，具有出色的穩定性，低功耗和高抗電磁干擾（EMI）能力。

　　物聯網中的MEMS

　　物聯網對微型，低成本傳感器進行監控生產的各個方面都有巨大的需求。這些傳感器必須將信息傳達到工廠網絡中的其他節點，并且必須在工廠惡劣的電氣和機械環境中可靠地運行。MEMS設備是為此目的而量身定制的：它們體積小，堅固耐用，可在同一封裝中包含額外的電路塊以實現有線或無線連接。

　　MEMS設備可以有效滿足許多物聯網應用的要求：

　　1、小型

　　用戶通常希望IoT設備在辦公室和家庭環境中體積小且不引人注目。根據定義，MEMS是不引人注目的。但是，除了用戶需求以外，在某些物聯網應用中，可能需要將該設備添加到現有機器（例如汽車）中，該機器的硬件空間有限。在可穿戴設備和生物醫學應用等其他情況下，小尺寸是必須滿足的關鍵要求。由于其較小的性質，MEMS滿足并超過了這些要求。

　　2、成本效益

　　在部署物聯網解決方案時，規模通常是一個主要問題。例如，當在農田上放置傳感器以監測天氣和濕度時，每英畝將需要播種許多設備?；蚩紤]一種資產跟蹤解決方案，其中可能需要跟蹤非常大量（且可變）的資產。在諸如運輸的其他應用中，設備可能只是一次性使用。MEMS是通過稱為光刻的工藝制成的，這使得批量生產變得容易且具有成本效益。

　　3、低功耗

　　物聯網傳感器和網關通常需要無線和電池供電。由于單位成本較低，因此更換整個單位通常比重新安裝新電池便宜。因此，功耗的任何減少都會延長設備的使用壽命。某些MEMS與較大的MEMS面臨相同的功率要求。其他人則利用電磁力或流體動力學中的不同力來降低功率消耗而又不犧牲功能性（例如，考慮通過小管道輸送水的表面張力情況）。

　　已經應用在工業物聯網中的MEMS傳感器有哪些呢？

　　工業機器人使用基于MEMS的3-D陀螺儀和加速度計來連續測量角速度和方向的變化，從而取代了昂貴的旋轉傳感器和編碼器。它們還可以檢測關節和執行器中的過度振動，這可能是過早失效的預兆。

　　MEMS加速度計可以檢測其他工業機器中的有害振動或感應有害的沖擊；MEMS壓力傳感器測量水流量和氣壓；MEMS氣體傳感器檢查有毒氣體排放；MEMS溫度傳感器是許多工業過程的關鍵部分。

　　在物聯網網絡基礎設施中，MEMS振蕩器在監督機器人和其他單元運行的可編程邏輯控制器（PLC）中受到歡迎。光學設備適用于人機界面（HMI）顯示屏。

　　工廠自身以多種方式使用MEMS.壓力，溫度和濕度傳感器有助于控制HVAC系統。防篡改傳感器安裝在智能電表中；如果發生地震，MEMS震動傳感器可以幫助切斷供氣。

　　經過校準，經過溫度補償的MEMS傳感器可測量LPG和CNC驅動的車輛中的氣體壓力，這些車輛將產品運輸到裝卸平臺。產品出廠后，資產跟蹤系統便使用MEMS監控貨物的撞擊和振動。

　　未來值得關注的MEMS傳感器應用領域

　　自動駕駛汽車需要數十個傳感器與周圍環境互動。這些傳感器還必須盡可能小，以免占用其他設備（載人和電池）所需的空間。因此，汽車行業是MEMS傳感器生產和使用有望增長最多的領域之一。

　　基于MEMS技術的加速度計具有很高的靈敏度，并且在極端關鍵的應用中具有故障安全性能，例如在汽車最終用戶內部的氣囊激活和車輛穩定性方面。

　　正在探索使用MEMS技術的另一個領域是麥克風。MEMS麥克風可以例如減少用于手機的免提設備的尺寸，并專門為聽覺有障礙的人們制造更小巧，更謹慎的輔助設備。

　　最壯觀而有趣的使用場景也許是生物技術和醫療技術。諸如胃腸道檢查可以通過照相機和試管來完成，并使用小型的引導機器人來執行。

　　隨著將更多設備和應用程序添加到物聯網中，并且MEMS技術驅動會使傳感器變小，而MEMS傳感器越來越小，又使物聯網觸角延伸得越來越廣，MEMS將成為更可行的解決方案。