晶圓靜電吸附（ESC）詳解

在前兩篇文章中，我們分別介紹了常見的晶圓吸附技術(shù)，靜電吸盤的詳細(xì)原理，見文章：常見的晶圓吸附技術(shù)

晶圓靜電吸附（ESC）詳解

今天，我們來詳細(xì)介紹一下剩下的一種比較常見的晶圓吸附技術(shù)-真空吸附。

什么是真空吸盤？ 晶圓真空吸盤通常由堅(jiān)硬的表面構(gòu)成，表面上有許多小孔或通道。通過這些小孔，吸盤可以與真空泵連接，從而產(chǎn)生真空效應(yīng)。

當(dāng)晶圓放置在吸盤上時(shí)，真空泵被打開，通過小孔抽取空氣，從而在晶圓和吸盤之間產(chǎn)生真空。這個(gè)真空效應(yīng)產(chǎn)生了足夠的吸力，將晶圓牢固地吸附到吸盤表面上。

真空吸盤的形狀尺寸？ 點(diǎn)擊加入作者的芯片制造與封裝知識(shí)社區(qū) 晶圓真空吸盤通常是圓形的，并且比晶圓尺寸稍大。常見尺寸范圍為直徑 50 毫米至 300 毫米以上，大多數(shù)真空吸盤采用同心圓環(huán)真空設(shè)計(jì)。真空吸盤通常與晶圓的標(biāo)準(zhǔn)尺寸相匹配，且不同尺寸的晶圓對(duì)應(yīng)對(duì)應(yīng)尺寸的吸盤，一般不能混用。例如，150 毫米（6 inch）吸盤可以固定150 毫米晶圓，如果要兼容4inch晶圓，可能需要安裝夾具。

真空吸盤的材質(zhì)？ 鋁——吸盤由鋁制成，鋁是一種相對(duì)柔軟、輕質(zhì)、無磁性、耐腐蝕的材料。使用鋁卡盤以避免損壞工件。鋁和鋁合金的導(dǎo)熱性和導(dǎo)電性非常好。

黃銅/青銅——吸盤由黃銅或青銅制成或內(nèi)襯黃銅或青銅。黃銅卡盤和青銅卡盤可避免工件損壞，同時(shí)仍提供適當(dāng)?shù)膭傂院途_的固定和定位。銅和一些銅合金的導(dǎo)熱性和導(dǎo)電性非常好，在冷卻或加熱應(yīng)用中會(huì)快速導(dǎo)熱。。黃銅不適合用于高真空和高溫腔室環(huán)境中的晶圓卡盤，因?yàn)辄S銅合金中的鋅很容易蒸發(fā)。陶瓷– 陶瓷表面通常用于需要高純度和化學(xué)穩(wěn)定性的應(yīng)用。陶瓷是通過礦物高溫融合而生產(chǎn)的材料。一般來說，陶瓷是電絕緣體或半導(dǎo)體，并且具有高抗熱擊穿、侵蝕和損傷的能力。

碳化硅等復(fù)合材料等等

真空吸盤類型

非熱卡盤– 非熱卡盤在室溫下運(yùn)行，沒有加熱或冷卻功能。熱卡盤– 熱卡盤具有整體加熱或冷卻功能，可在加工過程中將晶圓保持在特定溫度。

真空吸盤重要的規(guī)格指標(biāo)

外徑——外徑或?qū)挾葲Q定了可以固定的晶圓的尺寸平整度——晶圓吸盤的平整度是一個(gè)重要的指標(biāo)，通常以微米為單位。對(duì)于極紫外光刻，需要具有高平坦度的晶圓卡盤進(jìn)行聚焦。溫度范圍——對(duì)于熱吸盤，這表明熱吸盤可以提供的溫度控制范圍。對(duì)于非熱吸盤，溫度范圍表示吸盤可以在不損壞的情況下運(yùn)行的極限溫度。