中國電科集成電路成套裝備國產(chǎn)化集成及驗證平臺工程——楚微半導(dǎo)體科技股份有限公司項目進展順利，或早于此前規(guī)劃實現(xiàn)產(chǎn)線運行。公司確保今年底整線工藝串通并實現(xiàn)首片晶圓下線，實現(xiàn)國內(nèi)第一條集成電路裝備驗證工藝線在湖南運行。

據(jù)悉，中國電子科技集團公司第四十八研究所致力于在半導(dǎo)體工藝設(shè)備與研發(fā)，在長沙市高新區(qū)成立了湖南楚微半導(dǎo)體科技有限公司。湖南楚微半導(dǎo)體科技有限公司實施 8 英寸線集成電路國產(chǎn)化設(shè)備集成及驗證，并進行相關(guān)工藝產(chǎn)品規(guī)模制造，以整線工藝驗證設(shè)備的模式替代過去的單機臺驗證模式，實現(xiàn)成套成體系國產(chǎn)化設(shè)備與工藝相結(jié)合。項目總投資 25 億元，建設(shè) 8 英寸集成電路裝備驗證工藝線。

中電科集成電路成套裝備國產(chǎn)化集成及驗證平臺建設(shè)項目是長沙高新區(qū)重大在建產(chǎn)業(yè)項目之一，2018 年 11 月底開工建設(shè)；2019 年 9 月 28 日，廠房主體結(jié)構(gòu)封頂。

在該項目封頂活動上，中電科電子裝備集團有限公司黨委書記、董事長，48 所黨委書記左雷表示，項目廠房主體封頂只是工程建設(shè)的一半，更關(guān)鍵更繁雜的工作還在后面，希望大家以此為新的起點，繼續(xù)搞好后續(xù)工程建設(shè)，把項目建成樣板工程、示范工程、精品工程，更好服務(wù)國家戰(zhàn)略和地方經(jīng)濟發(fā)展。

據(jù)悉，該項目一期建成后將提供同時 20 臺套設(shè)備在線的驗證能力，年驗證能力超 40 臺。在此基礎(chǔ)上，項目二期將進一步完善發(fā)展，形成 12 英寸集成電路裝備的驗證能力。項目原預(yù)計 2021 年竣工投產(chǎn)。