10月14日，光刻機制造商ASML發(fā)布三季度的財報。公司第三季度凈銷售額為39.58億歐元，同比增長32.6%；凈利潤為10.62億歐元，同比增長29.3%。財報顯示，在三季度近40億歐元的營收中，30.96億歐元是光刻機的銷售收入。

ASML在這一季度向客戶交付并可確認(rèn)收入的光刻機達到了60臺，帶動營收大幅增長。確認(rèn)收入的60臺光刻機中，14臺為極紫外光刻機，較上一季度增加7臺。雖然整體交付量較上一季度減少了1臺，但由于售價更高的極紫外光刻機的交付量有增加，因而阿斯麥三季度的營收較上一季度不僅沒有減少，反而有明顯增加。公司三季度毛利率為47.5%，較上一季度的48.2%有所降低。

ASML總裁兼首席執(zhí)行官PeterWennink表示：第三季度銷售額超出預(yù)期，預(yù)計2021年，ASML會有兩位數(shù)的增長。他還表示，雖然市場受到疫情和地緣政治的負(fù)面影響，但是在5G、人工智能等技術(shù)驅(qū)動下，長期發(fā)展動力仍在。
ASML近日官宣，最新規(guī)格EUV光刻機擬明年中期發(fā)貨。

據(jù)《科創(chuàng)板日報》消息，ASML公布了EUV路線圖上的新機型TWINSCANNXE:3600D的最終規(guī)格，這是30mJ/cm2的曝光速度達到每小時曝光160片晶圓，提高了18%的生產(chǎn)率，并改進機器匹配套準(zhǔn)精度至1.1納米，并計劃于2021年的中期開始發(fā)貨。

在DUV光刻業(yè)務(wù)領(lǐng)域，ASML在本季度對第一臺TWINSCAN NXT:2050i進行了質(zhì)量認(rèn)證，并于第四季度初發(fā)貨。NXT:2050i基于NXT平臺的新版本，其中包括掩模版工作臺，晶圓工作臺，投影物鏡和曝光激光器的技術(shù)改進。該系統(tǒng)提供了比其前身更好的套刻精度控制，并具有更高的生產(chǎn)率，而且，NXT:2050i 將立即進入批量生產(chǎn)。

ASML是全球光刻機行業(yè)龍頭，市占率超過60%，在DUV浸入式光刻機市場占據(jù)了最大的份額，并壟斷了頂級的EUV光刻機市場。

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