超聲波電機(jī)即超聲電機(jī)，也稱微型電機(jī)，是一種新型的驅(qū)動裝置，具有體積小、大力矩、高響應(yīng)、抗干擾、低噪音、耐高低溫等優(yōu)勢。超聲波電機(jī)是廣泛應(yīng)用于醫(yī)療器械、云臺、精密機(jī)械、光學(xué)領(lǐng)域、自動化控制部件等各個領(lǐng)域不可缺少的基礎(chǔ)產(chǎn)品。

超聲波電機(jī)產(chǎn)品種類繁多、應(yīng)用面廣、要求多樣，其需求量快速增加的同時對微電機(jī)的品質(zhì)要求也在不斷提高。隨著設(shè)計水平、制造水平的不斷提高以及新材料、新結(jié)構(gòu)、新原理的運用，微電機(jī)技術(shù)發(fā)展迅速。為了提高市場競爭能力，不斷降低成本，滿足各個領(lǐng)域的需要，微型電機(jī)行業(yè)正在加速朝著高效性、專業(yè)化、規(guī)模化、智能化生產(chǎn)方向發(fā)展。

微型電機(jī)具有以下特點：

給超聲波電機(jī)輸入驅(qū)動電壓后，壓電材料產(chǎn)生壓電現(xiàn)象，同時發(fā)生的縱向延伸和橫向彎曲模式的激勵在陶瓷指尖的狹小的橢圓通道里產(chǎn)生二維聲波，從而產(chǎn)生驅(qū)動力進(jìn)行直線或旋轉(zhuǎn)運動。但沒有驅(qū)動電壓的時候能夠維持一個保持力矩，不產(chǎn)生位移和滯后。

超聲波電機(jī)定位精確，分辨率可達(dá)1μm，精度10nm，運動速度平穩(wěn)，低10μm/s，高250mm/s，標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)答時間為50～75μs，整定時間明顯優(yōu)于一般伺服電動機(jī)，以0.1μm的分辨率為例，只需1～2ms，為一般伺服電動機(jī)的1/10，定位后沒有一般伺服電動機(jī)存在的晃動問題，而且超聲波電機(jī)具有重量輕，體積小，行程無限制等特點。

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