單晶硅片的用途
單晶硅具有基本完整的點陣結構的晶體。不同的方向具有不同的性質,是一種良好的半導材料。純度要求達到99.9999%,甚至達到99.9999999%以上。用于制造半導體器件、太陽能電池等。用高純度的多晶硅在單晶爐內拉制而成。
用途:單晶硅具有金剛石晶格,晶體硬而脆,具有金屬光澤,能導電,但導電率不及金屬,且隨著溫度升高而增加,具有半導體性質。單晶硅是重要的半導體材料。在單晶硅中摻入微量的第IIIA族元素,形成P型半導體,摻入微量的第VA族元素,形成N型,N型和P型半導體結合在一起,就可做成太陽能電池,將輻射能轉變為電能。
單晶硅是制造半導體硅器件的原料,用于制大功率整流器、大功率晶體管、二極管、開關器件等。在開發能源方面是一種很有前途的材料。
單晶硅按晶體生長方法的不同,分為直拉法(CZ)、區熔法(FZ)和外延法。直拉法、區熔法生長單晶硅棒材,外延法生長單晶硅薄膜。直拉法生長的單晶硅主要用于半導體集成電路、二極管、外延片襯底、太陽能電池。
單晶硅的化學式
SI是單晶硅的化學表達式。
Si(粗硅) + 2Cl2 ==高溫== SiCl4
2H2 + SiCl4 ==高溫== Si(單晶硅) + 4HCl
硅單晶制備,需要實現從多晶到單晶的轉變,即原子由液相的隨機排列直接轉變為有序陣列,由不對稱結構轉變為對稱結構。這種轉變不是整體效應,而是通過固液界面的移動逐漸完成的,為實現上述轉化過程,多晶硅就要經過固態硅到熔融態硅,再到固態晶體硅的轉變,這就是從熔融硅中生長單晶硅所要遵循的途徑。目前應用最廣泛的有兩種,坩堝直拉法和無坩堝懸浮區熔法,這兩種方法得到的單晶硅分別稱為CZ硅和FZ硅。
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