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Mini固晶機行業黑馬?卓興半導體良率已達99.99%

話說科技 ? 2021-05-14 10:38 ? 次閱讀

2019年選定Mini LED設備賽道,并開始投入研發;2020年成功推出倒裝COB固晶機,與多家面板、LED顯示廠商已開展合作,卓興半導體正在從幕后走向臺前。

ISLE 2021上,卓興半導體是少數參展的設備廠商之一。


除已經量產出貨的倒裝COB固晶機外,卓興半導體還展出了合作打造的自動化生產線,以及檢測和晶圓返修解決方案等。

據卓興半導體總經理張芮菊介紹,公司的定位是“為Mini LED封裝制程提供整體解決方案”。

現階段,卓興半導體以Mini LED固晶機為主,未來還將陸續推出晶圓返修機、檢測方案,以及為客戶打造半自動或全自動化產線解決方案等,并通過最后一公里的售后服務,實現印刷+固晶+焊接+點亮和檢測+返修的倒裝COB整體解決方案。

據高工新型顯示了解,倒裝COB被LED顯示行業公認為實現更小點間距的最優解決方案。但是,倒裝COB也對固晶機提出了更高的要求,主要體現在精度更高、速度更快、良率更高和基板更大等方面。

卓興半導體介紹到,比如精度,要求位置誤差<±15um,角度誤差<1°;速度則要保證在錫膏變性前貼完;良率99.99%以上;以及基板寬度也要在200mm以上。

“傳統的設備是沒有辦法滿足要求的。”基于現階段固晶機存在的效率、精度等痛點,卓興半導體設計、研發了COB倒裝固晶機ASM3603。


ASM3603可滿足3*5mil-20*20mil晶片大小固晶,具備雙邦頭交替固晶,排列一致性好;6個晶圓環,一次裝夾完成RGB三色固晶;可串聯/并聯,多機連線;實現自動化和混打功能等特點。同時ASM3603可保證固晶良率99.99%以上。

ASM3603主要應用于Mini LED顯示,針對Mini LED背光,卓興半導體也已推出背光固晶機ASM3602。

卓興半導體指出,錫膏時效性的限制是客觀存在,所以固晶速率越快,單位面積上的LED芯片才能更多。ASM3602通過雙邦頭同時固晶,速度可達每小時40K。

除速度快外,ASM3602還具備著雙搜晶系統和晶圓角度修正、真空漏晶檢測、固晶臺真空吸附和表面平整度修正等特點,以保證固晶成功率。卓興半導體其他固晶機產品也具備著這些特點。

綜合來看,卓興半導體面向Mini LED直顯、Mini LED背光的倒裝COB固晶機生產線具備著采用全倒裝芯片、印錫工藝、全自動化生產線、在線全流程檢測、在線晶圓返修、支持晶圓混打6大特點。

從實現量產至今,卓興半導體Mini LED固晶機已出貨數十臺,以面板廠商為主,LED顯示廠商也在陸續開展合作。

“要把這個設備做好,肯定離不開運動控制和視覺技術。”張芮菊介紹到,公司創始團隊在工業機器人領域已有著20多年的工作經驗,而倒裝COB正迎來廣闊的發展空間,于是選定了這一賽道助力半導體產業關鍵設備實現國產化。


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