氣體流量表示在單位時間內(nèi)氣體通過一定截面積的量。氣體流量的測量和流量控制是計量科學技術(shù)的組成部分之一，在工業(yè)生產(chǎn)、科學研究、環(huán)境保護、能源儲運核算、國防結(jié)算等諸多方面發(fā)揮著不可或缺的作用。

小微氣體流量測量技術(shù)廣泛應(yīng)用于航空航天、半導(dǎo)體加工、醫(yī)療生物、電子汽車等行業(yè)。在航空航天領(lǐng)域，流量可以認為是評價發(fā)動機整機或部件性能的重要參數(shù)之一。航空發(fā)動機是一種結(jié)構(gòu)、氣動力和熱力都相當復(fù)雜的動力裝置，其流量測試在航空發(fā)動機測試工作中有著極其重要地位。航空發(fā)動機試驗測試中高精度的氣體流量測試是具有挑戰(zhàn)性的，特別是中小型航空發(fā)動機流量測試中的很多氣體流量測量，范圍在幾十克每秒以內(nèi)甚至是零點幾克每秒以內(nèi)的小流量的范圍，同時氣流的壓力、溫度變化范圍也很大。因此，提高航空發(fā)動機氣體小流量測量精度有著極其重要的意義。

在保護環(huán)境和生態(tài)平衡中，必須對江河湖海進行水質(zhì)檢測和大氣監(jiān)測，這就需要測量污水或空氣的流量；在醫(yī)療生物領(lǐng)域，藥物的輸送、微芯片點樣、血流量測定等都對小微流量的測量提出了更高的要求。

隨著氣體小流量測試技術(shù)研究的深入，高精度、高可靠的氣體小流量標準裝置也不斷發(fā)展。但是由于氣體小流量測量的復(fù)雜性和挑戰(zhàn)性，目前氣體小流量測量的精確度和質(zhì)量仍然不能滿足需求，特別是小微流量的中高壓計量標準缺乏，并且因為氣體沒有固定的體積形態(tài)，與體積標準進行比較，受環(huán)境溫度以及氣體壓力的限制較大。

我國小微氣體流量計量標準技術(shù)發(fā)展空間大。首先，我國小微氣體流量計量基準覆蓋面不足。無論是最小流量值還是不確定度值，我國小微氣體流量基準與德國、美國、日本、韓國等均存在顯著差距。

審核編輯：符乾江