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窄帶濾光片的原理與設(shè)計(jì)

華林科納半導(dǎo)體設(shè)備制造 ? 來(lái)源:華林科納半導(dǎo)體設(shè)備制造 ? 作者:華林科納半導(dǎo)體設(shè) ? 2022-08-23 17:17 ? 次閱讀

窄帶濾光片是用于密集波分復(fù)用光纖通信系統(tǒng),是其關(guān)鍵器件之一,它通常是全介質(zhì)濾光片,也就是間隔層與反射層都是由鍍制介質(zhì)薄膜形成,其特點(diǎn)是鍍制難度高,成品率低,成本高等。

窄帶濾光片的原理

1、光波中的電磁波理論

從理論上講,窄帶濾光片的光學(xué)特性研究,就是電磁波通過(guò)多層介質(zhì)薄膜間傳播的研究。因此,麥克斯韋方程組是處理光學(xué)薄膜系統(tǒng)問(wèn)題的Z基本的方法。

2、在介質(zhì)界面上光波的反射與折射

有若干介質(zhì)界面存在于光學(xué)膜系中,各介質(zhì)界面上的反射和折射規(guī)律關(guān)系到膜系的光學(xué)性質(zhì)與光波。須考慮光波從復(fù)折射率的介質(zhì)入射到該介質(zhì)時(shí),與另一介質(zhì)的復(fù)折射率界面的反射和折射過(guò)程。

3、光學(xué)薄膜的特征矩陣

對(duì)于無(wú)吸收的介質(zhì)光學(xué)薄膜,其特征矩陣的顯著特點(diǎn)從三方面考慮:行列式值為1,即單位模矩陣;對(duì)角元素或者是實(shí)數(shù),或者是純虛數(shù);Z重要的是主對(duì)角線上的元素相等。在有效的光學(xué)厚度為四分之一波長(zhǎng)的整數(shù)倍時(shí),特征矩陣變得非常簡(jiǎn)單。

窄帶濾光片的發(fā)展現(xiàn)狀

為了適應(yīng)我國(guó)光通信業(yè)高速發(fā)展的實(shí)際需求,通過(guò)對(duì)窄帶濾光片的優(yōu)化結(jié)構(gòu)、設(shè)計(jì)、分析和修正技術(shù)進(jìn)行深入研究,在濾光片的主膜系鍍制工藝技術(shù)方面有所突破;實(shí)現(xiàn)了改造進(jìn)口設(shè)備性能,完成了鍍膜材料的部分國(guó)產(chǎn)化;了解了高致密性、低損耗膜層的制備技術(shù),還有高精度實(shí)時(shí)監(jiān)控技術(shù);生成提高了鍍制后的減薄、拋光和劃片工藝;建立完善了檢測(cè)系統(tǒng)。

同時(shí)還形成了一套較為完整的光通信,用于窄帶濾光片產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)技術(shù)。并實(shí)現(xiàn)了100GHz和200GHz產(chǎn)品批量化生產(chǎn),經(jīng)檢測(cè)產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定,通過(guò)國(guó)內(nèi)外用戶試用,窄帶濾光片產(chǎn)品的總體性能及生產(chǎn)技術(shù)均已達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。

窄帶濾光片在波分復(fù)用系統(tǒng)中的應(yīng)用

作為波分復(fù)用系統(tǒng)的核心器件,復(fù)用/解復(fù)用器是將不同波長(zhǎng)的光信號(hào)匯集到一根光纖輸出的器件,稱為復(fù)用器,而將一根光纖中的多路波長(zhǎng)信號(hào)分離到各輸出口的器件,稱為解復(fù)用器。介質(zhì)薄膜窄帶濾光片主要應(yīng)用就是復(fù)用/解復(fù)用器。而插入損耗、隔離度、溫度穩(wěn)定性、工作波長(zhǎng)范圍、偏振相關(guān)損耗、各通路插入損耗的Zda差異等是其主要性能指標(biāo)。

目前,在密集波分復(fù)用光纖通信系統(tǒng)中應(yīng)用的窄帶濾光片,一般多采用全介質(zhì)窄帶濾光片,這種濾光片的鍍膜層數(shù)很多,通常有一兩百層,所以對(duì)于鍍膜時(shí)的監(jiān)控精度要求極高,尤其是對(duì)于鍍制間隔層的精度就要求更高,要達(dá)到要求的光譜特性,其誤差必須低于0.01%,甚至更低,因此選用控制精度極高的鍍膜設(shè)備是必要的。

窄帶濾光片的設(shè)計(jì)

1、法布里-珀羅濾光片

法布里-珀羅濾光片分有單腔與多腔之分,在法布里-珀羅干涉儀的基礎(chǔ)上改進(jìn)了單腔法布里-珀羅窄帶濾光片。從單腔濾光片的分析可以看出,三角形的帶通不能滿足密集波分復(fù)用系統(tǒng)中對(duì)通帶陡降特性和相鄰信道隔離度的指標(biāo)要求。

多腔濾光片是將多個(gè)單腔濾光片串置起來(lái),中間用耦合層連接得到的,和單腔濾光片相比,多腔窄帶濾光片的通帶形狀更接近于矩形,透射帶不再是一個(gè)尖峰,這樣可以使稍稍偏離中心波長(zhǎng)的光也能透過(guò)濾光片而不引起大的損耗;同時(shí)加快了透射率在透射帶邊緣下降的速度。

2、設(shè)計(jì)方法

通過(guò)對(duì)多腔窄帶濾光片結(jié)構(gòu)研究可以得出,在鍍膜材料確定后,串接的單腔窄帶濾光片的個(gè)數(shù)p,各單腔反射層HL的對(duì)數(shù)n,各單腔的干涉級(jí)次m,間隔層的特征t,共同決定了多腔窄帶濾光片的基本光譜特性。也可以說(shuō)是,通過(guò)利用Zyou化原理,把p、n、m、t作為自變量,由計(jì)算機(jī)自動(dòng)尋優(yōu)來(lái)找到適合通信系統(tǒng)要求,同時(shí)還求到滿足工藝條件的解。

這樣,窄帶濾光片由多個(gè)單腔串接而成,其中每個(gè)單腔窄帶濾光片的特征參數(shù)都是正整數(shù)。可以將尋優(yōu)問(wèn)題歸結(jié)為整數(shù)規(guī)劃問(wèn)題,其函數(shù)就是組成多腔窄帶濾光片所串接單腔的個(gè)數(shù)p,各單腔窄帶濾光片的膜結(jié)構(gòu)參數(shù)、看作是可尋優(yōu)的整形變量以及評(píng)價(jià)函數(shù)。

窄帶濾光片若是WMS-15玻璃上的兩種鍍膜材料的和,一般用多個(gè)單腔串接,配以適當(dāng)?shù)膮?shù)就能滿足光譜要求。間隔層多數(shù)選擇低折射率材料,其原因有三個(gè):①在滿足工藝要求的前提下,同樣一個(gè)四分之一光學(xué)厚度的材料,鍍制蒸發(fā)速率低;②價(jià)格較高材料比;③若材料鍍得太厚,鍍膜層易龜裂。

綜上所述,制備的濾光片雖然滿足技術(shù)指標(biāo)要求,但中心波長(zhǎng)與理論設(shè)計(jì)曲線相比仍然有少量漂移,實(shí)現(xiàn)中心波長(zhǎng)的零漂移以及提高峰值透過(guò)率將是日后研究和改進(jìn)的方向。

窄帶濾光片與帶通濾光片的區(qū)別

帶通濾光片都是在特定的波段允許光信號(hào)通過(guò),而偏離這個(gè)波段以外的兩側(cè)光信號(hào)就被阻止了,帶通濾光片的通帶相對(duì)來(lái)說(shuō)都是比較寬的,一般半帶寬都是在40nm以上!而窄帶濾光片是在帶通濾光片中分出來(lái)的,是屬于帶通濾光片的一種,它的定義跟帶通濾光片是一樣的,都是在特定的波段允許光信號(hào)通過(guò),而偏離這個(gè)波段以外的兩側(cè)光信號(hào)就被阻止了,但是窄帶濾光片是相對(duì)來(lái)說(shuō)是比較窄的。

窄帶濾光片的特點(diǎn)主要是采用全介質(zhì)硬膜鍍膜的技術(shù)和介質(zhì)干涉的原理,在凸顯窄帶濾光片特性的基礎(chǔ)上,光學(xué)性能與基片厚度無(wú)關(guān),窄帶濾光片更便于內(nèi)置儀器成像系統(tǒng)里面。使之光學(xué)性能得以提升和有效應(yīng)用,采用特殊的光學(xué)材料基底,解決傳統(tǒng)意義上吸收型合成玻璃易發(fā)霉及光學(xué)性能不穩(wěn)定等問(wèn)題,產(chǎn)品依據(jù)客戶的指標(biāo)需求予以生產(chǎn)制作。

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審核編輯:湯梓紅

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