問題：什么是DPT中的Odd Cycle問題？它會有什么問題？該如何解決？

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一層Metal由兩層Mask來成型，每一層Mask上相鄰Shape的最小間距即為DPT Spacing。

如果在一個(gè)版圖上存在著奇數(shù)個(gè)Shape圍成的圈，且相鄰的Shape之間的距離小于DPT Spacing（這就意味著它們需要涂上不同的Color），那么就會形成DPT Odd Cycle問題。

這種問題會造成它們無法被合理涂上兩種顏色，也就是沒辦法分到兩個(gè)Mask上而不引起DRC。

右下角是一種涂色方案，可以看到，Shape B和C的顏色相同，但是它們的距離小于DPT Spacing的要求，因此不能被分配到相同的Mask上。由于存在奇數(shù)個(gè)Shape，因此無論怎么去涂色，在不改變Layout的情況下，總會存在沖突的地方。



解決方案： 在任何一個(gè)地方，將兩個(gè)相鄰的Shape距離增大到DPT Spacing（或者更大）就可以修復(fù)這種問題，因?yàn)檫@樣原來沒辦法分到兩個(gè)Mask上的Shape（比如上圖中的B和C）就可以被分到兩個(gè)Mask上了。

如下圖所示：



對于DPT工藝的繞線，允許多個(gè)Shape彼此之間的距離小于DPT Spacing的要求，只要它們沒有產(chǎn)生Odd Cycle問題就可以了，這個(gè)是與普通工藝的繞線的一個(gè)很大的不同之處。




審核編輯：劉清