在线观看www成人影院-在线观看www日本免费网站-在线观看www视频-在线观看操-欧美18在线-欧美1级

0
  • 聊天消息
  • 系統(tǒng)消息
  • 評(píng)論與回復(fù)
登錄后你可以
  • 下載海量資料
  • 學(xué)習(xí)在線課程
  • 觀看技術(shù)視頻
  • 寫(xiě)文章/發(fā)帖/加入社區(qū)
會(huì)員中心
創(chuàng)作中心

完善資料讓更多小伙伴認(rèn)識(shí)你,還能領(lǐng)取20積分哦,立即完善>

3天內(nèi)不再提示

X射線光刻(X-ray lithography)技術(shù)是什么意思

sade2020616 ? 來(lái)源:光電讀書(shū) ? 2022-12-28 09:20 ? 次閱讀
加入交流群
微信小助手二維碼

掃碼添加小助手

加入工程師交流群

X射線光刻(X-ray lithography)技術(shù)是電子工業(yè)中用于選擇性去除一部分薄膜的工藝。使用X射線將幾何圖形轉(zhuǎn)移光敏光刻膠上。然后進(jìn)行一系列化學(xué)處理,將產(chǎn)生的圖案雕刻到光刻膠下方的材料中。

X射線光刻技術(shù)最初是半導(dǎo)體工業(yè)的新一代光刻技術(shù)的候選者,并成功生產(chǎn)了許多微處理器。X射線具有短波長(zhǎng)(低于1 nm),克服了光刻的衍射極限,從而可以實(shí)現(xiàn)較小的特征尺寸。如果未對(duì)X射線源進(jìn)行準(zhǔn)直(collimated),例如使用同步加速器輻射(synchrotron radiation),則使用基本準(zhǔn)直鏡(elementarycollimating mirrors)或衍射透鏡(diffractive lenses)代替光學(xué)中使用的折射透鏡。

X射線是寬帶的(broadband),通常來(lái)自緊湊的同步加速器輻射源(compact synchrotron radiation source),可以快速曝光。深X射線光刻(DXRL)使用的波長(zhǎng)更短,僅為0.1 nm,并且使用改進(jìn)的程序(如LIGA工藝)來(lái)制造深而均勻的三維結(jié)構(gòu)。 掩膜板通常由金(gold)、鉭或鎢的化合物(compounds of tantalum or tungsten)構(gòu)成的X射線吸收劑在對(duì)X射線透明的膜上構(gòu)成,該膜通常由碳化硅或金剛石制成。

通過(guò)直接寫(xiě)入電子束光刻(direct-write electron beam lithography,鏈接:MEMS制造技術(shù) - 電子束刻蝕(e-beam))將掩模上的圖案寫(xiě)入到通過(guò)常規(guī)半導(dǎo)體工藝顯影的抗蝕劑上。可以拉伸薄膜以提高覆蓋精度(overlay accuracy)。

0e2fdb0a-8644-11ed-bfe3-dac502259ad0.png

大多數(shù)X射線光刻是通過(guò)在模糊對(duì)比度線(the line of fuzzy contrast)上以圖像保真度(不需要放大)進(jìn)行復(fù)制。然而,隨著對(duì)高分辨率的日益增長(zhǎng)的需求,現(xiàn)在使用局部的“偏置放大率”(demagnification by bias)在所謂的“最佳點(diǎn)”( "sweet spot")上進(jìn)行X射線光刻。通過(guò)多次曝光來(lái)開(kāi)發(fā)高密集結(jié)構(gòu)。使用3倍放大倍數(shù)具備一些優(yōu)勢(shì):更易于制造研磨板,掩模與晶圓的間隙增加,對(duì)比度更高。該技術(shù)可擴(kuò)展到15nm打印。

與極端紫外線光刻(extreme ultraviolet lithography)和電子束光刻(鏈接:MEMS制造技術(shù) - 電子束刻蝕(e-beam))一樣,X射線會(huì)產(chǎn)生二次電子(secondary electrons)。定義精細(xì)的圖案主要是具有短路徑長(zhǎng)度(short pathlength)的俄歇電子(Auger electrons,一種表面科學(xué)和材料科學(xué)的分析技術(shù))產(chǎn)生的;而與X射線曝光相比,一次電子在更大的區(qū)域范圍實(shí)現(xiàn)抗蝕劑的敏感。

雖然這不影響由波長(zhǎng)和間隙確定的圖案間距分辨率,但是由于間距處于初級(jí)光電子范圍的量級(jí),因此降低了圖像曝光對(duì)比度(max-min)/(max + min)。側(cè)壁粗糙度(sidewall roughness)和斜率(slopes)受二次電子的影響,因?yàn)樗鼈兛梢栽谖掌鳎╝bsorber)下方的區(qū)域中傳播幾微米,具體取決于曝光的X射線能量。

光電子效應(yīng)的另一種表現(xiàn)是暴露于用于制作子掩模(daughter masks)的厚金膜的X射線產(chǎn)生的電子。模擬表明從金基底產(chǎn)生光電子可能影響溶解速率(dissolution rates)。






審核編輯:劉清

聲明:本文內(nèi)容及配圖由入駐作者撰寫(xiě)或者入駐合作網(wǎng)站授權(quán)轉(zhuǎn)載。文章觀點(diǎn)僅代表作者本人,不代表電子發(fā)燒友網(wǎng)立場(chǎng)。文章及其配圖僅供工程師學(xué)習(xí)之用,如有內(nèi)容侵權(quán)或者其他違規(guī)問(wèn)題,請(qǐng)聯(lián)系本站處理。 舉報(bào)投訴
  • 光電子
    +關(guān)注

    關(guān)注

    1

    文章

    134

    瀏覽量

    17652
  • mems
    +關(guān)注

    關(guān)注

    129

    文章

    4110

    瀏覽量

    192974
  • 加速器
    +關(guān)注

    關(guān)注

    2

    文章

    826

    瀏覽量

    39018

原文標(biāo)題:MEMS制造工藝 - X射線光刻技術(shù)(X-ray lithography)

文章出處:【微信號(hào):光電讀書(shū),微信公眾號(hào):光電讀書(shū)】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明出處。

收藏 人收藏
加入交流群
微信小助手二維碼

掃碼添加小助手

加入工程師交流群

    評(píng)論

    相關(guān)推薦
    熱點(diǎn)推薦

    X-ray(X光無(wú)損檢測(cè))注意事項(xiàng)?

    蘇試宜特檢測(cè)第三方實(shí)驗(yàn)室,專(zhuān)業(yè)的技術(shù),成套的檢測(cè)設(shè)備,為滿足用戶檢測(cè)多樣化,就近服務(wù)的要求,同時(shí)具備平面x-ray檢測(cè)和立體3D x-ray分析功能,現(xiàn)在X-ray(
    發(fā)表于 10-16 16:16

    X-ray CT技術(shù)以及它的主要應(yīng)用介紹

    X-ray 斷層掃描術(shù),英文稱(chēng)為 X-ray computed tomography (X-ray CT), 是一種利用X 射線照射并穿透待
    的頭像 發(fā)表于 07-20 14:55 ?2.2w次閱讀

    什么是X-Ray點(diǎn)料機(jī)?

    等方面,旨在幫助讀者了解這一高效、精準(zhǔn)的物料識(shí)別技術(shù)。 一、X-Ray點(diǎn)料機(jī)的基本構(gòu)造和工作原理 X-Ray點(diǎn)料機(jī)主要由X射線發(fā)射器、探測(cè)器
    的頭像 發(fā)表于 08-07 16:19 ?1186次閱讀
    什么是<b class='flag-5'>X-Ray</b>點(diǎn)料機(jī)?

    X-RAY產(chǎn)品內(nèi)部檢測(cè)設(shè)備

    。于是,利用X射線這種特性工程師們開(kāi)發(fā)出了各種X射線無(wú)損檢測(cè)設(shè)備。X-RAY產(chǎn)品內(nèi)部檢測(cè)設(shè)備是隨著計(jì)算機(jī)
    的頭像 發(fā)表于 08-10 17:17 ?1586次閱讀
    <b class='flag-5'>X-RAY</b>產(chǎn)品內(nèi)部檢測(cè)設(shè)備

    在線X-ray檢測(cè)儀的應(yīng)用領(lǐng)域介紹

    的工作原理基于X射線的穿透性。它通過(guò)發(fā)射X射線,照射在待檢測(cè)物體上,然后通過(guò)檢測(cè)器接收穿過(guò)物體的X射線
    的頭像 發(fā)表于 08-31 10:51 ?1043次閱讀
    在線<b class='flag-5'>X-ray</b>檢測(cè)儀的應(yīng)用領(lǐng)域介紹

    工業(yè)CT測(cè)量機(jī)與X-RAY射線檢測(cè)設(shè)備的區(qū)別

    ,利用X射線這種特性工程師們開(kāi)發(fā)出了各種X射線無(wú)損檢測(cè)設(shè)備。工業(yè)CT測(cè)量機(jī)是隨著計(jì)算機(jī)技術(shù)的發(fā)展,結(jié)合X
    的頭像 發(fā)表于 11-08 16:37 ?2366次閱讀
    工業(yè)CT測(cè)量機(jī)與<b class='flag-5'>X-RAY</b><b class='flag-5'>射線</b>檢測(cè)設(shè)備的區(qū)別

    什么是X-Ray射線檢測(cè)設(shè)備

    X-Ray射線檢測(cè)設(shè)備是利用陰極射線管產(chǎn)生高能量電子與金屬靶撞擊,在撞擊過(guò)程中,因電子突然減速,其損失的動(dòng)能會(huì)以X-Ray形式放出。而對(duì)于樣品無(wú)法以外觀方式檢測(cè)的位置,利用紀(jì)錄
    的頭像 發(fā)表于 11-09 11:38 ?1877次閱讀
    什么是<b class='flag-5'>X-Ray</b><b class='flag-5'>射線</b>檢測(cè)設(shè)備

    X-RAY射線檢測(cè)設(shè)備的性能特點(diǎn)

    X-RAY射線檢測(cè)設(shè)備具有一系列出色的性能優(yōu)點(diǎn),主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面:1.高精度成像:該設(shè)備采用先進(jìn)的X射線技術(shù),能夠捕捉到微小的缺陷和細(xì)
    的頭像 發(fā)表于 04-11 16:32 ?1319次閱讀
    <b class='flag-5'>X-RAY</b><b class='flag-5'>射線</b>檢測(cè)設(shè)備的性能特點(diǎn)

    廣東東莞X-ray射線檢測(cè)設(shè)備廠家無(wú)損高效測(cè)量

    X-ray射線檢測(cè)設(shè)備。他們的產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于各種領(lǐng)域,如電子、半導(dǎo)體、航空航天、汽車(chē)制造等,用于檢測(cè)產(chǎn)品的內(nèi)部結(jié)構(gòu)和缺陷。2.無(wú)損檢測(cè)技術(shù)X-ray
    的頭像 發(fā)表于 05-14 16:43 ?1000次閱讀
    廣東東莞<b class='flag-5'>X-ray</b><b class='flag-5'>射線</b>檢測(cè)設(shè)備廠家無(wú)損高效測(cè)量

    無(wú)損檢測(cè)技術(shù)中工業(yè)CT檢測(cè)與X-RAY射線檢測(cè)

    無(wú)損檢測(cè)技術(shù)中,工業(yè)CT(ComputedTomography)檢測(cè)與X-RAY射線檢測(cè)雖然都基于X射線的原理,但在實(shí)際應(yīng)用和
    的頭像 發(fā)表于 05-15 16:46 ?2397次閱讀
    無(wú)損檢測(cè)<b class='flag-5'>技術(shù)</b>中工業(yè)CT檢測(cè)與<b class='flag-5'>X-RAY</b><b class='flag-5'>射線</b>檢測(cè)

    X-ray射線無(wú)損檢測(cè)設(shè)備檢測(cè)印制電路板

    廣東X-ray射線無(wú)損檢測(cè)設(shè)備在檢測(cè)PCBA(PrintedCircuitBoardAssembly,即印刷電路板組裝)印制電路板時(shí),主要利用X射線的強(qiáng)穿透性來(lái)檢測(cè)電路板內(nèi)部的缺陷或結(jié)
    的頭像 發(fā)表于 05-23 16:34 ?1959次閱讀
    <b class='flag-5'>X-ray</b><b class='flag-5'>射線</b>無(wú)損檢測(cè)設(shè)備檢測(cè)印制電路板

    這些因素影響X-RAY射線檢測(cè)設(shè)備的價(jià)格

    設(shè)備價(jià)格高昂,而X射線無(wú)損探傷領(lǐng)域最核心的技術(shù)與配件當(dāng)屬是X光管,該配件的性能好壞直接影響x-ray檢測(cè)設(shè)備的使用壽命及使用效果。
    的頭像 發(fā)表于 08-12 17:16 ?1105次閱讀
    這些因素影響<b class='flag-5'>X-RAY</b><b class='flag-5'>射線</b>檢測(cè)設(shè)備的價(jià)格

    X-Ray射線檢測(cè)設(shè)備淺析

    X-Ray射線檢測(cè)設(shè)備是一種檢測(cè)技術(shù),通過(guò)X射線儀檢測(cè)物體的內(nèi)部結(jié)構(gòu),可以檢測(cè)物體的外部形狀和內(nèi)部結(jié)構(gòu)。
    的頭像 發(fā)表于 11-06 15:41 ?826次閱讀
    <b class='flag-5'>X-Ray</b><b class='flag-5'>射線</b>檢測(cè)設(shè)備淺析

    X-RAY與SAT檢測(cè)原理:為什么X-RAY只能掃描空洞不能掃描分層

    電磁掃描,那么X-RAY和SAT的區(qū)別在哪里呢,我們先看看其在頻譜上的分布: X-RAYX射線檢測(cè),X
    的頭像 發(fā)表于 11-21 10:47 ?1414次閱讀
    <b class='flag-5'>X-RAY</b>與SAT檢測(cè)原理:為什么<b class='flag-5'>X-RAY</b>只能掃描空洞不能掃描分層

    詳談X射線光刻技術(shù)

    隨著極紫外光刻(EUV)技術(shù)面臨光源功率和掩模缺陷挑戰(zhàn),X射線光刻技術(shù)憑借其固有優(yōu)勢(shì),在特定領(lǐng)域正形成差異化競(jìng)爭(zhēng)格局。
    的頭像 發(fā)表于 05-09 10:08 ?265次閱讀
    詳談<b class='flag-5'>X</b><b class='flag-5'>射線光刻</b><b class='flag-5'>技術(shù)</b>
    主站蜘蛛池模板: 377p亚洲欧洲日本大胆色噜噜 | 黄色录像日本 | www.射| 四虎永久影院永久影库 | 亚洲免费国产 | 色成网 | 一级毛片免费网站 | 欧美另类亚洲一区二区 | 性色视频免费 | 亚洲天天做日日做天天欢毛片 | 粗又长好猛好爽 | 欧美69xx性欧美 | 日本黄视频在线播放 | 色姑娘天天干 | sihu影院永久在线影院 | 国产国产人免费人成成免视频 | 四虎永久在线精品视频免费观看 | 综合婷婷 | 老司机51精品视频在线观看 | 韩国三级hd中文字幕好大 | 性视频一区 | aa在线视频| 五月情视频在线观看 | 亚洲欧美视频在线观看 | 色拍视频 | 久久综合欧美 | 老湿影院免费体验区 | 久综合网| 操你啦在线播放 | 一级毛片免费全部播放 | 高清性色生活片久久久 | 亚洲免费视频网 | 欧美三级一级片 | 免费无遮挡很爽很污很黄 | 黑色丝袜美女被视频网站 | 特级一级毛片免费看 | 中文字幕在线一区二区三区 | 欧美三级黄 | 午夜精品网站 | 欧美日韩在线一本卡 | 欧美整片第一页 |