隨著太陽能光伏產業的快速發展，對太陽能電池質量要求越來越高，這其中柵線質量、單晶硅絨面質量十分關鍵，如何快速高效檢測相關參數成為行業關注重點。

太陽能電池片

VT6000共聚焦顯微鏡是中圖儀器推出的一款全新的微觀3D測量儀器，能夠對太陽能電池片微觀結構進行三維形貌重建。具有測量精度高、全自動化、快速測量、處理數據便捷等優點。

在太陽能電池制作工程中，柵線的高寬比決定了電池板的遮光損耗及導電能力，直接影響著太陽能電池的性能。共聚焦顯微鏡可以對柵線進行快速檢測，軟件具備對視場內的柵線自動測量功能，能夠對掃描獲取的三維輪廓進行多剖面分析，計算出每個剖面的柵線高度及寬度尺寸。

柵線

柵線輪廓

此外，太陽能電池制作過程中，制絨作為關鍵核心工藝，金字塔結構的質量影響減反射陷光效果，是光電轉換效率的重要決定因素。共聚焦顯微鏡具有納米級別的縱向分辨能力，能夠對電池板絨面這種表面反射率低且形貌復雜的樣品進行三維形貌重建，并由專用分析模塊自動獲取絨面上每個金字塔的體積，比表面積等信息，計算出單位面積金字塔數量和不同尺寸金字塔的比例。

絨面形貌

絨面金字塔分析

共聚焦顯微鏡是一款可以為太陽能行業實驗室和生產過程檢測需求服務的高性能檢測設備，提供從二維到三維的多尺度檢測手段，將會在太陽能電池加工過程中發揮越來越重要的作用。

審核編輯 ：李倩