白光干涉儀的基本原理是通過不同的光學元件形成參考光路和探測光路，是利用干涉原理測量光程差，從而確定相關物理量的光學儀器。結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，可以對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，然后通過一體化操作的測量分析軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，從而獲得反映器件表面質量的2D、3D參數，實現器件表面形貌3D測量。

測量分析軟件

1）測量與分析同界面操作，無須切換，測量數據自動統計，實現了快速批量測量的功能；

2）可視化窗口，便于用戶實時觀察掃描過程；

3）結合自定義分析模板的自動化測量功能，可自動完成多區域的測量與分析過程；

4）幾何分析、粗糙度分析、結構分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全；

5）一鍵分析、多文件分析，自由組合分析項保存為分析模板，批量樣品一鍵分析，并提供數據分析與統計圖表功能；

6）可測依據ISO/ASME/EUR/GBT等標準的多達300余種2D、3D參數。

其中白光干涉儀的拼接功能，能夠針對樣品的同一區域進行不同模式的檢測。SuperViewW1白光干涉儀拼接功能3軸光柵閉環反饋，在樣品表面抽取多個區域測量，可以快速實現大區域、高精度的測量，從而對樣品進行評估分析。不僅有利于數據的綜合分析，也可以減少維護成本，從而提高效率。

SuperViewW1白光干涉儀

SuperViewW1白光干涉儀XY載物臺標準行程為140*110mm，可以測到12mm，也可以測到更小的尺寸，局部位移精度可達亞微米級別，可以測量非常微小尺寸的器件；也可以使用自動拼接測量、定位自動多區域測量功能將測量的每一個小區域整合拼接成完整的圖像，從而獲得物體整個區域的表面情況。

大尺寸樣品拼接測量

自動拼接功能

操作步驟

1.點擊XY復位，使得鏡頭復位到載物臺中心

2.將被測物放置在載物臺夾具上，被測物中心大致和載物臺中心重合；

3.確認電機連接狀態和環境噪聲狀態滿足測量條件；

4.使用操縱桿搖桿旋鈕調節鏡頭高度，找到干涉條紋；

5.設置好掃描方式和掃描范圍；

6.點擊選項圖標，確認自動找條紋上下限無誤；

7.點擊多區域測量圖標，可選擇方形和（橢）圓形兩種測量區域形狀；

8.根據被測物形狀和尺寸，"形狀”欄選擇“橢圓平面”，X和Y方向按需設置；

9.點擊彈出框右下角的“開始”圖標，儀器即自動完成多個區域的對焦、找條紋、掃面等操作。

審核編輯黃宇