在3月初舉辦的2023年中國MEMS制造大會（China MEMS 2023）上，公布了“2021中國MEMS十強企業(yè)”名單。該名單由中國半導體行業(yè)協(xié)會根據(jù)行業(yè)季度統(tǒng)計報表及各地方協(xié)會統(tǒng)計數(shù)據(jù)評選出。

今天我們就借用智慧芽研發(fā)情報庫，從技術研發(fā)的角度分析下這十家中國MEMS頭部企業(yè)各自的技術發(fā)展路線。（文章內企業(yè)排名不分先后）

一、歌爾微電子股份有限公司

歌爾微電子成立于2017年，前身為歌爾股份有限公司微電子事業(yè)群，2021年變更為歌爾微電子股份有限公司。該公司是一家以MEMS器件及微系統(tǒng)模組研發(fā)、生產(chǎn)與銷售為主的半導體公司，業(yè)務涵蓋芯片設計、產(chǎn)品開發(fā)、封裝測試和系統(tǒng)應用等產(chǎn)業(yè)鏈關鍵環(huán)節(jié)，可為客戶提供“芯片+器件+模組”的一站式產(chǎn)品解決方案。

從技術上看，歌爾微電子近幾年的技術主要布局于傳感器、麥克風、壓電陶瓷、聲能轉換等細分技術領域，致力于提高MEMS麥克風信噪比、改善MEMS麥克風聲學性能、實現(xiàn)MEMS麥克風定位功能等。

二、瑞聲聲學科技（深圳）有限公司

瑞聲科技成立于1993年，在聲學、光學、觸感、傳感器及半導體、精密制造等領域擁有強大的綜合競爭力，致力于為智能設備提供領先的微型專有技術解決方案，在聲學、光學、觸覺反饋、精密制造、微機電、無線射頻和天線領域擁有材料研發(fā)、仿真、算法、設計、自動化以及工藝開發(fā)等尖端技術。

從技術上看，瑞聲科技近幾年的技術主要布局于電聲轉換、麥克風、發(fā)聲器件、揚聲器等細分技術領域，致力于提高麥克風靈敏度、提升發(fā)聲器件聲學性能、提高麥克風可靠性等。

三、河北美泰電子科技有限公司

美泰科技成立于2011年，隸屬于大型央企中國電科，致力于MEMS器件與系統(tǒng)的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。該公司擁有國際先進的6英寸MEMS工藝線和世界領先的產(chǎn)品測試標定設備，是國內最大的MEMS高端核心芯片、器件和系統(tǒng)產(chǎn)品供應商。旗下產(chǎn)品覆蓋MEMS慣性器件與系統(tǒng)、MEMS測試測量傳感器、汽車MEMS傳感器、射頻（RF）MEMS器件等。

從技術上看，美泰科技近幾年的技術主要布局于傳感器、氣體流量測量儀器、溫壓復合傳感器、壓力傳感器等細分技術領域，致力于致使標定時操作簡單高效、提高MEMS流量傳感器的穩(wěn)定性和可靠性、增加MEMS流量傳感器厚度等。

四、美新半導體有限公司

美新半導體（MEMSIC）成立于1999年，是中國最早的IDM模式慣性傳感器供應商之一，于2007年在美國納斯達克上市，被譽為全球MEMS第一股。美新半導體致力于提供從MEMS傳感芯片、軟件算法和應用方案的一站式解決方案，擁有熱式加速度計、電容式加速度計、AMR地磁傳感器、低功耗霍爾開關和六軸IMU等產(chǎn)品。

從技術上看，美新半導體近幾年的技術主要布局于半導體封裝、集成式傳感器、磁場傳感器、微機電系統(tǒng)器件測試等細分技術領域，致力于提高三軸陀螺儀集成度、使三軸陀螺儀結構整體合理緊湊、提高器件可靠性等。

五、上海矽睿科技股份有限公司

矽睿科技成立于2012年，專注于高質量傳感器產(chǎn)品的設計、制造、以及增值應用與服務，致力于成為以應用為導向的多傳感器平臺。該公司產(chǎn)品包括多款MEMS傳感器，如六軸IMU、加速度計、環(huán)境傳感器、組合傳感器等；磁性傳感器芯片，如磁力計、磁編碼器、電流傳感器、霍爾傳感器等；及汽車與物聯(lián)網(wǎng)智能模組和系統(tǒng)。

從技術上看，矽睿科技近幾年的技術主要布局于半導體工藝、電子通訊、磁傳感、健康監(jiān)測等細分技術領域，致力于提高第三軸靈敏度、增強第三軸感應能力、提高磁傳感裝置感應能力及靈敏度等。

六、華潤微集成電路有限公司

華潤微電子是2002年華潤集團收購華晶集團改組而成，已成為華潤集團旗下負責微電子業(yè)務投資、發(fā)展和經(jīng)營管理的高科技企業(yè)。該公司產(chǎn)品聚焦于功率半導體、智能傳感器領域，擁有芯片設計、晶圓制造、封裝測試等全產(chǎn)業(yè)鏈一體化運營能力在分立器件及集成電路領域均已具備較強的產(chǎn)品技術與制造工藝能力，形成了先進的特色工藝和系列化的產(chǎn)品線。

從技術上看，華潤微電子近幾年的技術主要布局于集成電路設計、無線充電、通信、恒流驅動電源等細分技術領域，致力于提高電路可靠性、減小芯片面積、降低芯片成本等。

七、蘇州敏芯微電子技術股份有限公司

敏芯股份成立于2007年，于2020年8月登陸上海證券交易所科創(chuàng)板，為中國MEMS芯片第一股。該公司是一家專業(yè)從事微電子機械系統(tǒng)傳感器研發(fā)設計的高新技術企業(yè)，主導推動了中國MEMS產(chǎn)業(yè)鏈構建。敏芯作為中國最早成立的MEMS研發(fā)公司之一，現(xiàn)已擁有完整的芯片設計、晶圓制造、封裝與測試等全產(chǎn)業(yè)鏈的自主研發(fā)設計能力。

從技術上看，敏芯股份近幾年的技術主要布局于傳感器、半導體器件制造、麥克風、感測等細分技術領域，致力于提高器件良率和可靠性、提高壓力傳感器靈敏度、提高硅麥克風靈敏度和信噪比等。

八、杭州士蘭微電子股份有限公司

士蘭微成立于1997年，是國內規(guī)模最大的集成電路芯片設計與制造一體（IDM）的企業(yè)之一。2003年，士蘭微股票在上海證券交易所掛牌交易，是第一家在中國境內上市的集成電路芯片設計企業(yè)。該公司在多個技術領域保持了國內領先的地位，如綠色電源芯片技術、MEMS傳感器技術、LED照明和屏顯技術、高壓智能功率模塊技術、第三代功率半導體器件技術、數(shù)字音視頻技術等。

從技術上看，士蘭微近幾年的技術主要布局于開關電源、半導體制造、光源控制、微麥克風等細分技術領域，致力于提高器件可靠性、避免MEMS麥克風可靠性下降、提高器件耐壓特性等。

九、西人馬聯(lián)合測控（泉州）科技有限公司

西人馬聯(lián)合測控成立于2017年，采用IDM經(jīng)營模式，目前生產(chǎn)落地于福建6英寸FAB廠，擁有先進的MEMS / IC等硅基芯片以及非硅基芯片的設計、制造、封測能力。基于這些先進的核心技術，西人馬致力于運用先進的芯片、傳感器、智能數(shù)據(jù)采集模組提供產(chǎn)品和服務，立志成為A-IoT時代的科技引領者和全球最具價值的A-IoT基礎設施供應商。

從技術上看，西人馬近幾年的技術主要布局于傳感器、半導體器件測試、半導體封裝、發(fā)光二極管等細分技術領域，致力于提高電荷輸出元件靈敏度、提高結構接觸剛度、提高監(jiān)測精度等。

十、蘇州納芯微電子股份有限公司

納芯微電子成立于2013年，是高性能高可靠性模擬芯片的研發(fā)設計企業(yè)，致力于為數(shù)字世界和現(xiàn)實世界的連接提供芯片級解決方案。2022年，納芯微電子于上海證券交易所科創(chuàng)板上市。該公司聚焦于信號感知、系統(tǒng)互聯(lián)、功率驅動三大方向，提供傳感器、信號鏈、隔離、接口、功率驅動、電源管理等豐富的半導體產(chǎn)品及解決方案。

從技術上看，納芯微電子近幾年的技術主要布局于傳感器、電子電路、測試測量、磁場感測等細分技術領域，致力于降低芯片功耗、提高電路可靠性、降低校準成本等。

注：技術路線圖由智慧芽研發(fā)情報庫生成，主要呈現(xiàn)該企業(yè)的代表性技術成果，不代表企業(yè)全部技術能力。

審核編輯 黃宇