TUV南德與北方華創聯合發布《氫氦工藝氣體爆炸性研究及測試》論文
北京2023年3月22日/美通社/ --3月8日，TUV南德意志集團（以下簡稱"TUV南德"）大中華區工業產品部與北方華創微電子裝備有限公司（以下簡稱"北方華創"）聯合發布的項目論文《氫氦工藝氣體爆炸性研究及測試》被權威行業期刊《電氣防爆》采納，并錄入中國核心期刊（遴選）數據庫。TUV南德大中華區防爆服務部高級經理Ing. Kristof De Gersem先生作為TUV南德代表參與了論文的審核等工作。
《氫氦工藝氣體爆炸性研究及測試》該篇論文旨在判定半導體生產過程中關于氫氦和混合氣體的爆炸性風險，對芯片生產過程中使用的指定比例的氫氦混合物運用多種理論上的計算和分析，最后設計出一組實驗裝置來驗證分析結果，也為半導體氣體惰化過程工藝提供理論和試驗參考。北方華創作為半導體行業領軍企業，曾在SEMI S2等認證項目中與TUV南德有過深入合作。TUV南德作為歐盟ATEX防爆指令的指定機構之一，深耕市場多年，積累了的豐富的經驗。此次參與北方華創的氫氦工藝氣體爆炸性課題的研究與實驗設計，體現了TUV南德本地專家在防爆領域的專業性。
TUV南德始終認為基礎性研究并非只是半導體行業相關方的工作，作為全球知名第三方安全認證服務機構也有責任和義務為半導體行業的發展做出應有的貢獻。Ing. Kristof De Gersem表示，"TUV南德很榮幸能攜手本土半導體企業不斷探索，雙方充分發揮各自在行業、資源、技術人員等方面優勢，深入進取，為半導體行業發展貢獻綿薄之力。"
審核編輯黃宇
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