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超純水在芯片生產中的應用

鄭先生 ? 來源: jf_70685061 ? 作者: jf_70685061 ? 2023-04-15 14:27 ? 次閱讀
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什么是芯片?集成電路就是芯片,是信息技術產業的核心元件。從芯片的設計、制造、封裝材料等相關企業層出不窮。但高品質的產品才能被市場認可,再多的芯片廠家涌起也得禁得住市場的考驗。芯片從制造開始就有考究,無論是原材料還是工藝都是經過精挑細選的。在制造芯片中有一種水也要經過專業的制取工藝而得來,才能更好地應用在芯片制造中,這種水便是超純水。

芯片生產所需的清洗用水為電阻率大于18MΩcm,接近于18.3MΩcm的超純水。這種超純水的制備過程比較復雜,為了達到芯片生產的用水要求,制備超純水的設備需要經過嚴格的檢測。

據了解,傳統超純水制備過程中通常采用離子交換樹脂,此工藝需要進行樹脂再生,既耗費物力又耗費人工。目前,為了更好地節省人工和耗材,人們開始采用RO反滲透技術和EDI相結合的工藝,從而來制備超純水。

目前這種超純水設備與傳統工藝相比,不僅投入的運行成本低且人工成本也是很低的,并且設備的整體集成化程度高,自動化程度高,遇故障可以實現立即自停,具有自動保護功能。而且該設備應用的膜技術,具有較高的溶質分離率和透過率,可以高效產出高品質超純水。

綜上,我們了解到,超純水設備出水電導率可達18.2mΩ,大大地滿足芯片行業用水需求,是該行業清洗用水的重要保障。

目前,常見超純水設備多是采用反滲透技術與電去離子(EDI)技術相結合的方式來制取超純水,這樣的超純水設備無論出水還是制作過程都是環保且符合國家標準的。超純水設備可以將水中的導電介質幾乎完全去除,又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度,符合超純水出水標準。

這樣的超純水設備無需使用任何再生化學品進行再生,無需中和藥劑,應用EDI模塊就不會產生酸堿廢液。設備選用優質膜元件,能夠去除水中的導電介質,并具有純度高,無病毒和細菌,不含任何懸浮物、無化學污染等優勢。對于芯片制造來說,該設備生產的超純水符合產業需求,同時高品質的超純水可以幫助芯片制造業提高成品率。

綜上,超純水設備的產業無論是從技術、人員還是專業服務來說都需要保持嚴謹的態度,這樣才能保證生產出的超純水值得人信賴。(文章轉載與網絡,如有侵權請聯系刪除)

順便幫就 黃宇

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