近日，中微半導體設備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微公司”，上交所股票代碼：688012）推出自主研發(fā)的12英寸低壓化學氣相沉積（LPCVD）設備Preforma Uniflex CW。這是中微公司深耕高端微觀加工設備多年、在半導體薄膜沉積領域取得的新突破，也是實現(xiàn)公司業(yè)務多元化增長的新動能。

中微公司12英寸低壓化學氣相沉積產品

Preforma Uniflex CW

作為中微公司自主研發(fā)的產出效率高且性能卓越的12英寸LPCVD設備，Preforma Uniflex CW可靈活配置多達五個雙反應臺反應腔（十個反應臺），每個反應腔可以同時加工兩片晶圓，在保證較低的生產成本和化學品消耗的同時，實現(xiàn)更高的生產效率。

Preforma Uniflex CW， 作為中微公司自主研發(fā)的LPCVD設備，配備了完全擁有自主知識產權的優(yōu)化混氣方案及加熱臺， 具有優(yōu)秀的薄膜均一性、填充能力和工藝調節(jié)靈活性，對于彎曲度較大的晶圓，它也具備良好的工藝處理能力。并且其優(yōu)異的階梯覆蓋率和填充能力，可以滿足先進邏輯器件、DRAM和3D NAND中接觸孔以及金屬鎢線的填充應用需求。

探索不息，創(chuàng)新不止。中微公司推出的Preforma Uniflex CW是公司創(chuàng)新之路的又一里程碑。一直以來，中微公司踐行“四個十大”的企業(yè)文化，將產品開發(fā)的十大原則始終貫穿于產品開發(fā)、設計和制造的全過程，研發(fā)團隊秉持為達到設備高性能和客戶嚴格要求而開發(fā)的理念，堅持技術創(chuàng)新、設備差異化和知識產權保護。“這款LPCVD設備不僅擁有完整、自主的知識產權，還創(chuàng)造了中微公司新設備研發(fā)速度的新紀錄。”中微公司集團副總裁、LPCVD 產品部和公共平臺工程部總經理陶珩說：”自該款LPCVD設備研發(fā)立項以來，僅用不到半年時間，我們就完成了產品設計、生產樣機開發(fā)和實驗室評價，目前已順利導入客戶端進行生產線核準。”

如今，數(shù)碼產業(yè)已成為國民經濟的兩大支柱之一，正在徹底改變人類的生產和生活方式。中微公司董事長兼總經理尹志堯博士表示，“數(shù)碼強，則國強；數(shù)碼弱，則國弱。半導體微觀加工設備正是數(shù)碼產業(yè)的基石，是發(fā)展集成電路和數(shù)碼產業(yè)的關鍵。工欲善其事，必先利其器，加工微米及納米級微觀器件的設備對發(fā)展集成電路與微器件工業(yè)、促進數(shù)碼產業(yè)發(fā)展至關重要。此次我們推出LPCVD新產品，在等離子體刻蝕設備和MOCVD設備的基礎上，進一步拓展了公司的產品線布局，也增強了半導體設備的自主可控性。未來公司也將繼續(xù)瞄準世界科技前沿，堅持三維發(fā)展戰(zhàn)略，推出更多自主設計的半導體設備，為促進數(shù)碼產業(yè)發(fā)展貢獻力量。”

自2004年成立以來，中微公司致力于開發(fā)和提供具有國際競爭力的微觀加工的高端設備，現(xiàn)已發(fā)展成為國內高端微觀加工設備的領軍企業(yè)之一。未來，公司將繼續(xù)打造更多具有國際競爭力的技術創(chuàng)新與差異化產品，為客戶和市場提供性能優(yōu)越、生產效率高和性價比高的設備解決方案。