UVLED解膠機是用來解除UV膠膜和切割膜膠帶之間粘結的全自動解膠設備。許多晶圓半導體行業在生產過程中，需要先把晶圓切片用劃片膠固定起來，然后進行劃片加工處理，最后通過UVLED光源對固定好的晶圓切片進行照射，使晶元切片上的UV膠膜發生硬化，從而降低與切割膜膠帶之間的粘性，從而達到輕松將膠帶從晶圓切片上取下來，UVLED解膠機完美的解決了晶圓行業、玻璃制品和陶瓷切割上的解膠工序。

UVLED解膠機采用箱體式結構，機器內部配有UVLED紫外光固化設備，可根據客戶的使用需求，定制波段大小、照射面積、光照強度等參數。采用智能顯示屏控制系統，可隨意調節功率大小、照射時長，使用非常方便！同時UV脫膠機箱口采用手拉式結構，方便晶圓切片的放置和取出；另配有門禁感應裝置，拉動箱口門把手時，UVLED光源設備會自動停止，避免紫外光源的外溢。

UVLED解膠機還有哪些優勢之處呢？UVLED紫外光是單波段“冷光源”設備，被照射基材表面升溫小，有效解決了晶圓行業在加工處理時產生的熱損害現象。UVLED解膠機的光源設備使用壽命比較長，平均使用壽命大約在20000h左右，遠超傳統UV汞燈的使用時長。UVLED光源是單波段紫外光，通過電能向光能的轉換，光電轉換有效率高，可有效節約電量的使用。不含“汞”污染，工作時不會產生臭氧，影響工作環境！

陸芯精密劃片機于2022年3月24日下線了公司首臺6寸晶圓尺寸的專用劃片機：XL3252，目前已經開始接受全球預定。

此次陸芯推出的6寸專用精密劃片機，在軟件方面繼承和優化了公司最新的軟件技術，如：工件形狀的識別和功能，更友好人機界面。由于機械結構和電子結構相對最先進的XL-6366要簡單。所以，在設備后期的維護成本上會更低，這對于只需要用到6寸劃片機的廠商來講無疑是個巨大的福音，并且陸芯在設備的交貨周期上，也比最先進的設備交期提前不少。