現在，壓力傳感器是典型的汽車傳感器，它廣泛地應用在汽車上。汽車壓力傳感器的歷史開始于1979年，用于引擎燃燒控制的多種絕對壓力傳感器。隨后，它被廣泛地用于高壓場合，如懸掛壓力探測和空調制冷壓力探測。在引入ＯＢＤ（車載自動診斷系統）后，壓力傳感器也擴展到了低壓場合，如揮發的汽油泄漏探測。現在，壓力傳感器更進一步地擴展到了高壓場合，如汽油燃燒噴射和柴油共軌燃燒噴射系統。顯然，壓力傳感器在汽車上有廣闊的發展前景。

壓力傳感器工作原理部分

壓力傳感器可以廣義地分為三類：壓阻式壓力傳感器、電容式壓力傳感器和壓電式壓力傳感器。

下面，本文將先介紹壓阻式壓力傳感器的工作原理，再介紹應用于汽車的MEMS技術智能化硅壓阻式壓力傳感器的工作原理。

2.1壓阻式壓力傳感器

壓阻式壓力傳感器的壓力敏感元件是壓阻元件，它是基于壓阻效應工作的。所謂壓阻元件實際上就是指在半導體材料的基片上用集成電路工藝制成的擴散電阻，當它受外力作用時，其阻值由于電阻率的變化而改變。擴散電阻正常工作時需依附于彈性元件，常用的是單晶硅膜片。

圖1是壓阻式壓力傳感器的結構示意圖。壓阻芯片采用周邊固定的硅杯結構，封裝在外殼內。在一塊圓形的單晶硅膜片上，布置四個擴散電阻，兩片位于受壓應力區，另外兩片位于受拉應力區，它們組成一個全橋測量電路。硅膜片用一個圓形硅杯固定，兩邊有兩個壓力腔，一個和被測壓力相連接的高壓腔，另一個是低壓腔，接參考壓力，通常和壓大氣相通。當存在壓差時，膜片產生變形，使兩對電阻的阻值發生變化，電橋失去平衡，其輸出電壓反映膜片兩邊承受的壓差大小。

2.2 MEMS技術的智能化硅壓阻傳感器工作原理

為了將壓力信號轉化為電信號，采用應變原理將惠斯頓檢測電橋通過MEMS技術制作在單晶硅片上，使得單晶硅片成為一個集應力敏感與力電轉換為一體的敏感元件。如圖2所示。

當硅芯片受到外界的應力作用時,硅應變電橋的橋臂電阻將產生變化,一般都為惠斯頓電橋檢測模式。如圖3所示。

其輸出電壓表示為：

Vo=VBΔR/R(R1=R2,R3=R4,ΔR1=ΔR2,ΔR3=R4)

因為電阻的變化直接與應力P有關,則：

Vo=SPVB±Vos

式中：Vo為輸出電壓，mV；S為靈敏度，mV/V/Pa；P為外力或應力，Pa；VB為橋壓，V；Vo為零位輸出，mV。

單一的硅片芯片只能作為一個檢測單元的一部分無法獨立完成信號的轉換,所以必須有特定的封裝使其具備壓力檢測的能力。將圖2中的硅片芯片與PYREX玻璃環靜電封接在一起。PYREX玻璃環作為硅芯片的力學固定支撐彈性敏感元件并且使硅芯片與封裝絕緣,PYREX玻璃環的孔恰好成為了傳感器的參考壓力腔體和電極引線腔體。其結構如圖4所示。圖4的敏感芯體封接在金屬螺紋底座上形成進壓的腔道后，成為一個可安裝的壓力測量前端,見圖5。此封裝技術可以承載至少15MPa的壓力,若經特殊處理可承載100MPa的壓力。

3 技術性能分析

通過靜態特性測試，MEMS技術的智能化硅壓阻傳感器的技術指標如下：

重復性小于±0.2%滿量程

遲滯小于0.1%滿量程

非線性小于±0.1%滿量程

靈敏度為0.02V/kpa

該傳感器的分辨率為100pa

該傳感器的過載能力達200%

而普通壓阻式壓力傳感器技術指標：

測量精度為0.5%（包含線性、重復性、遲滯指標）

靈敏度為±0.02%FS/℃

瞬時過載為兩倍滿量程

可見，MEMS技術的智能化硅壓阻傳感器是高穩定性、高靈敏度、寬溫度范圍、小封裝尺寸和高質量的獨特組合。其具有更大的應用優勢。

4 應用于汽車的MEMS技術智能化硅壓阻式壓力傳感器的信號智能調理設計

如圖3傳感器輸出電壓信號，Vo=VBΔR/R(R1=R2，R3=R4，ΔR1=ΔR2，ΔR3=R4)在理想狀態下其信號輸出是一個線性變化值。但是單晶硅材料的傳感器屬于半導體傳感器其受溫度的影響比較大。這使得傳感器在環境溫度變化時輸出呈現變化,影響讀出精度。對圖3的電橋加入溫度對電橋的影響，得出下式:

V0=VBΔR/(R+ΔRt)

理想狀態下若ΔRt=0，則Vo=VBΔR/R，但是在汽車應用環境中溫度的影響很大,所以必需采用補償技術。圖6為一組實測得的未補償過的傳感器的寬溫度范圍溫度壓力曲線圖。顯而易見,在汽車常用的工作溫區,溫度引入的讀出誤差達到了10%左右,這顯然是不允許的。傳統的補償方法是在橋臂上串并聯電阻法補償,為提升工作效率采用激光修調預先制作在陶瓷基板上的厚膜電阻網絡的辦法來實現。但是此法有很多的缺點和局限性,并且寬溫度區的補償后精度也僅為2%~3%,達不到汽車測壓的要求。通過采用數字化的信號處理將傳感器的微弱信號轉化為標準電壓信號,并且植入模型算法將輸出的標準信號補償到一定的精度范圍內,是當代最新的傳感器信號調理技術。

信號處理鏈路框圖,圖7所示。

在溫度傳感器的輔助作用下通過信號轉換開關分時讀取壓力與溫度的數值,通過可編程增益放大器將微弱信號放大,再經過ADC量化傳感器的信號進入數字處理器計算當前溫度和 壓力下的補償后壓力輸出給數模轉換DAC輸出模擬信號。而溫度補償則可以通過通訊接口將參數寫入EEPROM 供數字處理器計算時調用。如此多的功能部件均可集成制作在一塊單一芯片上,使得ASIC電路很容易和MEMS技術制作的壓力敏感芯片封裝在一個小巧的殼體中。

在寬溫度范圍內實測校準后的傳感器有效抑制了溫度變化對其產生的影響。如圖8所示的多只標準信號輸出的傳感器寬溫度校準數據曲線：不難看出,在寬溫度工作環境下采用此法校準的傳感器的讀出溫度已達到寬溫度的高精度測量要求,且通過多通道的通訊接口進行校準的方法與批量制造技術兼容,實現制造車用傳感器的高性價比的要求。

汽車上的傳感器很多 ，下面介紹其他傳感器在汽車的應用

汽車上的傳感器是作為汽車電子控制系統的信息源，是汽車電子控制系統的關鍵部件，也是汽車電子技術領域研究的核心內容之一。汽車傳感器對溫度、壓力、位置、轉速、加速度和振動等各種信息進行實時、準確的測量和控制。

汽車上的傳感器是作為汽車電子控制系統的信息源，是汽車電子控制系統的關鍵部件，也是汽車電子技術領域研究的核心內容之一。汽車傳感器對溫度、壓力、位置、轉速、加速度和振動等各種信息進行實時、準確的測量和控制。下面就介紹汽車上傳感器的核心，發動機控制傳感器和幾種傳感器新產品。

發動機管理系統其采用各種傳感器，是整個汽車傳感器的核心，種類很多，包括溫度傳感器、壓力傳感器、位置和轉速傳感器、流量傳感器、氣體濃度傳感器和爆震傳感器等。這些傳感器將發動機吸入空氣量、冷卻水溫度、發動機轉速與加減速等狀況轉換成電信號送入控制器，控制器將這些信息與儲存信息比較、精確計算后輸出控制信號。發動機管理系統不僅可以精確控制燃油供給量，以取代傳統的化油器，而且可以控制點火提前角和怠速空氣流量等，極大地提高了發動機的性能。

如今汽車行業的發展促使汽車上的傳感器變得更多，傳感器的特點也使得汽車變得更加智能化，例如胎壓監測系統是在每一個輪框內安裝微型壓力傳感器來測量的氣壓，并通過無線發射器將信息傳到駕駛前方的上。輪胎壓力太低時，系統會自動發出警報，提醒駕駛員及時處理。這樣不但可以確保汽車在行駛中的安全，還能保護胎面，延長輪胎使用壽命并達到省油的目的。胎壓監測傳感器能夠精確地測量輪胎的氣壓和溫度并將這些信息通過無線信號傳輸到安裝在車內的接收器上。如今車內空氣污染對有車族的健康構成了新的威脅，這種威脅主要來自一氧化碳。隨著有車族數量的快速增加，車內的空氣質量開始受到關注。一氧化碳傳感器具有靈敏度高、抗干擾性強、功耗低等特點，專門用于保證車內空氣質量安全。同時應用簡單、使用壽命長，可以及時地監測車內空氣質量。一氧化碳傳感器分為車內空調內外循環的自動切換系統和轎車用、客車用一氧化碳報警器。

人與車科技展2003上展出了車輛防盜用傾斜傳感器，該角度傳感器采用2軸加速度傳感器，可及時發現盜竊時車輛被托起而導致的車輛傾斜，并發出警報，此加速度傳感器為靜電容量式。英國保險協會2003年4月決定向安裝防盜角度傳感器的車輛提供優惠保險。類似的促銷活動今后也將在車輛被盜案劇增的日本展開，估計角度傳感器的市場需求將日趨旺盛。新型厚膜壓阻式無觸點汽車油壓傳感器，采用厚膜力敏技術和表面微組裝技術制作，監測發動機潤滑油壓力，可實現機油低壓力報警。已通過臺架試驗、型式試驗和60000次耐久性試驗，可直接替代現有雙金屬片滑線式YG2221G油壓傳感器。同現有滑線式油壓傳感器相比，具有精度高、無機械部件觸點、可靠性高、壽命長、耐腐蝕、能同數字化儀表匹配、成本低，性能價格比高等特點。