Microdefects

撰稿人：浙江大學 馬向陽

https://www.zju.edu.cn/

審稿人：浙江大學 楊德仁

9.3硅材料中的缺陷與雜質

第9章 集成電路專用材料

《集成電路產業全書》下冊

ADT 12寸全自動雙軸晶圓切割機

詳情：切割機(劃片機).ADT. 8230 12寸全自動雙軸晶圓切割機 成倍提高生產率

日本晶圓清洗設備，大量裝機，提供SiC晶圓、GaN基板、藍寶石晶圓及臭氧水(超氧水)生成設備

臺灣舊設備：AIXTRON (MOCVD) TS CCSH31*2" 13臺、TS19*2" 11臺；Disco-DFL7340

現有日本2條6寸晶圓生產線在售，直接向日本公司投標，全套設備完整

往期內容：

9.3.4 體缺陷∈《集成電路產業全書》

9.3.3 面缺陷∈《集成電路產業全書》

9.3.2 線缺陷∈《集成電路產業全書》

9.3.1 點缺陷∈《集成電路產業全書》

9.2.7 硅片清洗與包裝∈《集成電路產業全書》

9.2.6 拋光工藝和拋光片∈《集成電路產業全書》

9.2.5 研磨工藝∈《集成電路產業全書》

9.2.4 切片工藝∈《集成電路產業全書》

9.2.3 晶錠切斷工藝∈《集成電路產業全書》

9.2.2 晶體定向∈《集成電路產業全書》

9.2.1 晶體熱處理∈《集成電路產業全書》

9.1.12 硅基發光材料∈《集成電路產業全書》

9.1.11 硅基石墨烯∈《集成電路產業全書》

9.1.10 硅基碳管∈《集成電路產業全書》

9.1.9 硅基應變硅薄膜∈《集成電路產業全書》

9.1.8 硅基SiGe薄膜∈《集成電路產業全書》

9.1.7 SOI材料∈《集成電路產業全書》

9.1.6 硅外延單晶薄膜∈《集成電路產業全書》

9.1.5 納米硅材料∈《集成電路產業全書》

9.1.4 非晶硅薄膜∈《集成電路產業全書》

9.1.3 單晶硅∈《集成電路產業全書》

9.1.2 高純多晶硅∈《集成電路產業全書》

9.1.1 集成電路對硅材料的要求∈《集成電路產業全書》

9.1 硅材料

第9章 集成電路專用材料

8.13.6 液體顆粒計數儀（LPC）∈《集成電路產業全書》

8.13 生產線其他相關設備

8.12.8 測試議表∈《集成電路產業全書》

8.12 集成電路測試設備

8.11.14 反應腔室∈《集成電路產業全書》

8.11 主要公用部件

8.10.16 激光打標設備∈《集成電路產業全書》

二手設備

激光隱形切割-8寸晶圓切割機-激光切割機

商品名稱: Disco DFL7340

規格介紹：切割晶圓、藍寶石等

Manufacturer : Disco

Model : DFL 7340

Category : SCRIBING / DICING

Voltage : 3Φ 220V

FULL LOAD AMPS : 10A

MACHINE MAIN BREAKER RATING : 20A

AMPERE RATING OF LARGEST LOAD : 5A

說明：有3臺，年份在2014-2016年；1臺機狀OK，另二臺雷射功率不足，須維修，機臺在臺灣。