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白光干涉儀自動拼接測量功能的應用場景

中圖儀器 ? 2022-04-02 15:47 ? 次閱讀
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場景一

pYYBAGJH-6mAN-WaAAJUQIQta90832.jpg?v=81421

上圖是涂覆在電極棒的催化劑表面全景圖,整體尺寸在7mm左右,中心的催化劑區域呈低反射率特點,而圓環外呈高反射率特點,整體的輪廓尺寸和微觀的輪廓起伏反映了涂覆的質量。

根據客戶精度要求,SuperViewW1白光干涉儀可將重建算法切換為高速掃描的FVSI重建算法,并可依據表面粗糙程度,選擇不同步距進行速度調節。

poYBAGJH-6mAFRfpAAHblYajJ2M721.jpg?v=81532pYYBAGJH-6mAA_UcAAHpMCiPzn8306.jpg?v=81541

場景二

poYBAGJH-SuAWlvdAAAYxikaDXE118.jpg?v=81607

上圖是一款旋轉拋物面零件,用于微小位移和角度檢測,其表面具有超光滑、高反、凹面弧形特征,針對其凹面弧形的檢測需求,現有的顯微測量儀器中,原子力顯微鏡和共聚焦顯微鏡,均分別因有損測量或分辨率不夠的原因而排除,只有以白光干涉為原理的光學3D表面輪廓儀,能同時滿足無損、超高分辨率、耐高反等條件。

針對完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時滿足的高精度、大掃描范圍的需求,中圖儀器SuperView W1的復合型EPSI重建算法,解決了傳統相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點。在自動拼接模塊下,只需要確定起點和終點,即可自動掃描,重建其超光滑的表面區域,不見一絲重疊縫隙。

pYYBAGJH-SuAKMTRAAGixAXuW0Q695.jpg?v=81625

場景三

poYBAGJH-6mANWBqAAAwf1EI9_E583.jpg?v=81683

上圖為手機插卡槽處的金屬薄片模塊,需要測量不含凹面區域的表面輪廓和平整度,因其表面較為粗糙且指定了測量區域,可使用高速FVSI算法,并在拼接測量設定時,使用地圖導航功能,在掃描時即可自動跳過凹面區域完成其余整體形貌的拼接測量。

pYYBAGJH-6mAB1lDAAHFTHEy4UE658.jpg?v=81750

中圖儀器SuperviewW1白光干涉儀自動拼接測量功能并不局限在上述三種案例當中,不管是在粗糙或是光滑、異形或是平面結構,當要測量超出適配鏡頭下的單視場區域的時候,可以根據不同表面特點進行重建算法的切換。

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