一、加工要求
半導體行業PEEK導向柱超高精度深孔加工,孔洞加工深度為23mm,直徑為0.256 mm,正向精度±0.005mm。孔洞處于柱體中心位置,精度:±0.02mm。

二、加工難點
正常微孔加工孔徑與孔深比一般不會超過1:10,此導向柱深孔加工高達1﹕90,屬于高難度加工范圍。
三、微納加工中心
速科德Kasite高精度微納加工中心具有高速,超高精度等加工優勢,特別是在微小孔,深孔加工有著獨特的技術突破,解決了深孔加工存在的技術難點!

1、設備優勢
- X、Y軸高精度直線電機驅動,Z軸絲杠,高精度光柵反饋,全閉環控制,可實時反饋
- 內部采用吸附一體的吸塵裝置,加工過程中實時清除粉塵
- 高像素相機,高精度定位,±0.1 μm
- X、Y、Z軸最高重復定位精度±0.1μm
2、電主軸優勢
- 德國SycoTec 4025高速主軸
- 最高轉速100,000轉/分鐘,精度≤1μm
- 體積小,重量輕
3、應用領域
Kasite速科德微納加工中心廣泛應用于半導體芯片(PEEK、PCB、封裝底板),精密醫療儀器,光學設備等超高精度的精密加工。
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