按照工作原理的不同，輪廓測(cè)量?jī)x可以分為非接觸式光學(xué)3D表面輪廓儀（白光干涉儀）和接觸式輪廓儀（觸針式）。

SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀主要是用于產(chǎn)品微觀(guān)形貌測(cè)量，主要是測(cè)微觀(guān)粗糙度，精度一般是亞微米和納米級(jí)別的。主要在半導(dǎo)體晶圓加工、3C行業(yè)的蓋板、光學(xué)元器件、超精密加工以及各高等院校實(shí)驗(yàn)室。

SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀粗糙度分析操作步驟：

1、將樣品放置在夾具上，確保樣品狀態(tài)穩(wěn)定；

2、將夾具放置在載物臺(tái)上；

3、檢查電機(jī)連接和環(huán)境噪聲，確認(rèn)儀器狀態(tài)；

4、使用操縱桿調(diào)節(jié)三軸位置，將樣品移到鏡頭下方并找到樣品表面干涉條紋；

5、完成掃描設(shè)置和命名等操作；

6、點(diǎn)擊開(kāi)始測(cè)量（進(jìn)入3D視圖窗口旋轉(zhuǎn)調(diào)整觀(guān)察一會(huì)）；

7、進(jìn)入數(shù)據(jù)處理界面，點(diǎn)擊“去除外形”，采用默認(rèn)參數(shù)，點(diǎn)擊應(yīng)用獲取樣品表面粗糙度輪廓；

8、進(jìn)入分析工具模塊，點(diǎn)擊參數(shù)分析，直接獲取面粗糙度數(shù)據(jù)，點(diǎn)擊右側(cè)參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)可更換參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)，增刪參數(shù)類(lèi)型；

9、如果想獲取線(xiàn)粗糙度數(shù)據(jù)，則需提取剖面線(xiàn)；

10、進(jìn)入數(shù)據(jù)處理界面，點(diǎn)擊“提取剖面”圖標(biāo)，選擇合適方向剖面線(xiàn)進(jìn)行剖面輪廓提取；

11、進(jìn)入分析工具界面，點(diǎn)擊“參數(shù)分析”圖標(biāo)，點(diǎn)擊右側(cè)參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)，勾選所需線(xiàn)粗糙度相關(guān)參數(shù)，即可獲取線(xiàn)粗糙度Ra數(shù)據(jù)。

SJ5700觸針式輪廓儀主要用于零件輪廓尺寸測(cè)量，比如汽配行業(yè)、軸承行業(yè)、五金工具、機(jī)械加工、緊固件行業(yè)、軸承行業(yè)、模具行業(yè)等等。在進(jìn)行測(cè)量的過(guò)程中，檢定軟件會(huì)實(shí)時(shí)將測(cè)針獲取的參數(shù)，在計(jì)算機(jī)屏幕上以二維圖形的方式描繪出輪廓曲線(xiàn)，是一款全自動(dòng)測(cè)量的儀器設(shè)備。掃描完成以后，操作人員可以通過(guò)輪廓分析工具直接對(duì)生成的輪廓曲線(xiàn)進(jìn)行評(píng)定，得出圓度、角度、距離、間距、直線(xiàn)度等輪廓參數(shù)。操作便捷，功能廣泛。

可對(duì)輪廓進(jìn)行直線(xiàn)度、圓度分析，可評(píng)定的表面輪廓參數(shù)包括：角度、半徑、坐標(biāo)、距離、圓、圓截面，確定各個(gè)點(diǎn)、相交各點(diǎn)、坐標(biāo)軸、直線(xiàn)、垂直線(xiàn)、圓和圓截面等，并可同時(shí)實(shí)現(xiàn)：
1.建立回歸直線(xiàn)和圓形；
2.建立點(diǎn)、交點(diǎn)、自由點(diǎn)、中心店、最高點(diǎn)和最低點(diǎn)；
3.建立坐標(biāo)系統(tǒng)；
4.計(jì)算半徑、距離、角度、坐標(biāo)及線(xiàn)性偏差；
5.實(shí)際值與標(biāo)稱(chēng)值比較；
6.測(cè)量程序自動(dòng)運(yùn)行。

SJ5700觸針式輪廓儀粗糙度測(cè)量步驟只需一次按鍵，測(cè)針自動(dòng)接觸工件，自動(dòng)調(diào)整測(cè)量力，根據(jù)工件表面自動(dòng)調(diào)整移動(dòng)速度，開(kāi)始全自動(dòng)輪廓掃描，整個(gè)過(guò)程無(wú)需任何人工操作。一次測(cè)量后可同時(shí)完成粗糙度和輪廓評(píng)定，無(wú)需更換傳感器。