半導(dǎo)體勻膠顯影機(jī)一般由動(dòng)力系統(tǒng)、顯影液槽及噴液管、水洗槽、擠壓 (水)輥、涂膠槽等部分組成，適用于半導(dǎo)體、化工材料、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃等工藝，制版的表面顯影。

本期小明就來分享一下傳感器在勻膠顯影機(jī)中的作用~

檢測(cè)水滴/膠滴

光纖傳感器 PG1+ PT-30ML

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選用區(qū)域?qū)ι涔饫w，覆蓋面積廣，即使水滴路徑有微小偏差依然在檢測(cè)區(qū)域內(nèi)，可被穩(wěn)定檢測(cè)

功率大，光軸清晰明亮，可輕松調(diào)整光軸位置

放大器搭載了超高速模式，微秒級(jí)響應(yīng)時(shí)間，可穩(wěn)定快速地進(jìn)行檢測(cè)

SET按鍵調(diào)試，使用簡便輕松

檢測(cè)晶片位置

激光傳感器 ELE-RM05N

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晶圓傳送盒的顏色和形狀變化所產(chǎn)生的光量值偏差很小，需要選擇回歸反射型傳感器可進(jìn)行穩(wěn)定的測(cè)量，安裝反光板，減少了布線煩惱

光斑小，可將傳感器裝在外部，穿過孔洞對(duì)內(nèi)部物料進(jìn)行檢測(cè)，輕松實(shí)現(xiàn)識(shí)別晶片傾斜/缺料等位置不正的情況

激光的指向性佳，光斑小，便于安裝

控制憎水液位

液位傳感器 CE30-26NO

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當(dāng)槽管內(nèi)存在氣泡時(shí)，普通的光學(xué)傳感器很可能造成誤判

產(chǎn)品防護(hù)等級(jí)IP67，防水防塵

傳感器固定方式靈活，可任意輕松移動(dòng)檢測(cè)位置

匣盒載物臺(tái)的下限檢測(cè)

接近傳感器 ESL-T50NO

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超薄尺寸，厚度僅有4mm，任意狹小空間均可安裝

采用對(duì)射檢測(cè)原理，穩(wěn)定可靠

檢測(cè)距離達(dá)50cm，任意大小的設(shè)備場(chǎng)景均可使用

明治傳感器是一家專注于工業(yè)級(jí)光電傳感器和深度學(xué)習(xí)技術(shù)的創(chuàng)新企業(yè)，主要聚焦在高精度定位、深度學(xué)習(xí)、精密測(cè)量、以及避障安全方案，為3C電子、新能源、半導(dǎo)體制程、醫(yī)療電子和服務(wù)機(jī)器人行業(yè)提供精密智能和AI傳感技術(shù)。

明治傳感器核心團(tuán)隊(duì)匯聚了一批業(yè)界資深科學(xué)家和工程師，由扎根工業(yè)傳感領(lǐng)域20年的專家?guī)ш?duì)，擁有核心專利超過120項(xiàng)，超過20項(xiàng)發(fā)明專利。明治產(chǎn)品迭代速度快，每年在世界各地安裝的傳感器總數(shù)逾6,000,000只，在AI4.0時(shí)代用創(chuàng)新傳感技術(shù)向用戶提供精密智能和AI傳感的產(chǎn)品，助力全球用戶在工業(yè)4.0時(shí)代成為智慧工業(yè)和萬物互聯(lián)的行業(yè)領(lǐng)先者。