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模切加工---低介電高導熱絕緣氮化硼膜

向欣電子 ? 2022-12-19 10:45 ? 次閱讀

關鍵詞:高導熱絕緣,TIM材料,氮化硼,高端材料

導語:新通訊技術邁向全面普及,消費電子產品向高功率、高集成、輕薄化和智能化方向加速發展。由于集成度、功率密度和組裝密度等指標持續上升,5G時代電子器件在性能不斷提升的同時,工作功耗和發熱量急遽升高。時代巨大數據流量對于通訊終端的芯片天線等部件提出了更高的要求,器件功耗大幅提升的同時,引起了這些部位發熱量的急劇增加。

IGBT模塊是新一代的功率半導體電子元件模塊,誕生于20世紀80年代,并在90年代進行新一輪的改革升級,通過新技術的發展,現在的IGBT模塊已經成為集通態壓降低、開關速度快、高電壓低損耗、大電流熱穩定性好等等眾多特點于一身,而這些技術特點正式IGBT模塊取代舊式雙極管成為電路制造中的重要電子器件的主要原因,電動汽車的蓬勃發展帶動了功率模塊封裝技術的更新迭代。

目前電動汽車主逆變器功率半導體技術,代表著中等功率模塊技術的先進水平,高可靠性、高功率密度并且要求成本競爭力是其首先需要滿足的要求.IGBT作為重要的電力電子的核心器件,其可靠性是決定整個裝置安全運行的最重要因素。由于IGBT采取了疊層封裝技術,該技術不但提高了封裝密度,同時也縮短了芯片之間導線的互連長度,從而提高了器件的運行速率。傳統Si基功率模塊封裝存在寄生參數過高,散熱效率差的問題,這主要是由于傳統封裝采用了引線鍵合和單邊散熱技術,針對這兩大問題,SiC功率模塊封裝在結構上采用了無引線互連(wireless interconnection)和雙面散熱(double-side cooling)技術,同時選用了導熱系數更好的襯底材料,并嘗試在模塊結構中集成去耦電容、溫度/電流傳感器以及驅動電路等,研發出了多種不同的模塊封裝技術。

致力于解決當前我國電子封裝及熱管理領域面臨的瓶頸技術問題,建立了國際先進的熱管理解決方案及相關材料生產技術,是國內低維材料技術領域頂尖的創新型研發團隊。本產品是國內首創自主研發的高質量二維氮化硼納米片,成功制備了大面積、厚度可控的二維氮化硼散熱膜,具有透電磁波、高導熱、高柔性、低介電系數、低介電損耗等多種優異特性,解決了當前我國電子封裝及熱管理領域面臨的“卡脖子”問題,擁有國際先進的熱管理TIM解決方案及相關材料生產技術,是國內低維材料技術領域頂尖的創新型高科技產品。

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產品的應用方向為5G通訊絕緣熱管理,主要目標市場可分為終端設備,智能工業,及新能源汽車三大板塊。5G技術是近年來最受矚目的關鍵科技,也是國內外重點發展的核心產業之一。隨著5G商用,工業4.0、智慧城市、無人駕駛等科技建設的推進,該項目已經初步形成了萬億的市場規模,并持續快速發展。一代通信技術,一代手機形態,一代熱管理方案。通信技術的演進,會持續引發移動互聯網應用場景的變革,并推動手機芯片和元器件性能快速提升。但與此同時,電子器件發熱量迅速增加,對手機可靠性和移動互聯網發展帶來了嚴峻挑戰。從4G時代進入5G時代,智能手機芯片性能、數據傳輸速率、射頻模組等都有著巨大提升,無線充電、NFC等功能逐漸成為標配,手機散熱壓力持續增長。5G手機散熱的主流方案,高導熱材料、并加速向超薄化、結構簡單化和低成本方向發展,技術迭代正在加速進行。

據統計,電子器件因熱集中引起的材料失效占總失效率的65-80%。為避免過熱帶來的器件失效,導熱硅脂、導熱凝膠、石墨導熱片、熱管和均熱板(VC)等技術相繼出現、持續演進,散熱管理已經成為5G時代電子器件的“硬需求”。

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新能源汽車在主流的大眾消費群體中越來越受歡迎,新能源汽車銷量持續增長。2021年新能源汽車銷量 333.41萬輛,新能源汽車在中國乘用車市場的滲透率從2017年的2.4%快速增長至2021年的16.0%。預計2022年新能源汽車銷量473.19萬輛,滲透率提高至22.6%。純電動汽車已成為中國最受歡迎的新能源汽車類型。2021年純電動汽車銷量273.4萬輛,純電動汽車在中國新能源汽車市場的滲透率已達82.0%。預計2022年純電動汽車銷量382.76萬輛,純電動汽車在中國新能源汽車市場的滲透率將達80.9%。不難看出,新能源行業是我國未來的一大趨勢。

中國另一個讓人倍感振奮的行業,那就是光伏新能源。2021年,中國為全球市場提供了超過70%的光伏組件;2021年,中國光伏行業四大環節產值突破7500億元,再創歷史新高;2021年,中國光伏發電新增裝機量54.88GW,分布式光伏發電占比歷史首次突破50%,裝機規模居世界第一;中國光伏產業在關鍵核心技術領域持續突破,依托自主可控的專利技術與規模優勢,發電成本較10年前下降約80%……黨的十八大報告中提出,“加強節能降耗,支持節能低碳產業和新能源、可再生能源發展,確保國家能源安全”。在這一精神指引下,過去10年間,光伏產業通過降本提質增效,從被“卡脖子”到全球領先,為中國可再生能源跨越式發展做出重要貢獻。

5G技術---將成為移動通信產業的新發動機5G

5G移動通信產業的新發動機

什么是5G?

“5G”一詞通常用于指代第 5 代移動網絡。5G 是繼之前的標準(1G、2G、3G、4G 網絡)之后的最新全球無線標準,并為數據密集型應用提供更高的帶寬。除其他好處外,5G 有助于建立一個新的、更強大的網絡,該網絡能夠支持通常被稱為 IoT 或“物聯網”的設備爆炸式增長的連接——該網絡不僅可以連接人們通常使用的端點,還可以連接一系列新設備,包括各種家用物品和機器。公認的5G的優勢是:

?具有更高可用性和容量的更可靠的網絡

?更高的峰值數據速度(多 Gbps)

?超低延遲

與前幾代網絡不同,5G 網絡利用在 26 GHz 至 40 GHz 范圍內運行的高頻波長(通常稱為毫米波)。由于干擾建筑物、樹木甚至雨等物體,在這些高頻下會遇到傳輸損耗,因此需要更高功率和更高效的電源。5G部署最初可能會以增強型移動寬帶應用為中心,滿足以人為中心的多媒體內容、服務和數據接入需求。增強型移動寬帶用例將包括全新的應用領域、性能提升的需求和日益無縫的用戶體驗,超越現有移動寬帶應用所支持的水平。

毫米波是5G的關鍵技術

毫米波通信是未來無線移動通信重要發展方向之一,目前已經在大規模天線技術、低比特量化ADC、低復雜度信道估計技術、功放非線性失真等關鍵技術上有了明顯研究進展。但是隨著新一代無線通信對無線寬帶通信網絡提出新的長距離、高移動、更大傳輸速率的軍用、民用特殊應用場景的需求,針對毫米波無線通信的理論研究與系統設計面臨重大挑戰,開展面向長距離、高移動毫米波無線寬帶系統的基礎理論和關鍵技術研究,已經成為新一代寬帶移動通信最具潛力的研究方向之一。

毫米波的優勢: 毫米波由于其頻率高、波長短,具有如下特點:

頻譜寬,配合各種多址復用技術的使用可以極大提升信道容量,適用于高速多媒體傳輸業務;可靠性高,較高的頻率使其受干擾很少,能較好抵抗雨水天氣的影響,提供穩定的傳輸信道;方向性好,毫米波受空氣中各種懸浮顆粒物的吸收較大,使得傳輸波束較窄,增大了竊聽難度,適合短距離點對點通信;波長極短,所需的天線尺寸很小,易于在較小的空間內集成大規模天線陣。

毫米波的缺點:毫米波也有一個主要缺點,那就是不容易穿過建筑物或者障礙物,并且可以被葉子和雨水吸收。這也是為什么5G網絡將會采用小基站的方式來加強傳統的蜂窩塔。

什么是熱管理?

熱管理?顧名思義,就是對“熱“進行管理,英文是:Thermal Management。熱管理系統廣泛應用于國民經濟以及國防等各個領域,控制著系統中熱的分散、存儲與轉換。先進的熱管理材料構成了熱管理系統的物質基礎,而熱傳導率則是所有熱管理材料的核心技術指標。

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導熱率,又稱導熱系數,反映物質的熱傳導能力,按傅立葉定律(見熱傳導),其定義為單位溫度梯度(在1m長度內溫度降低1K)在單位時間內經單位導熱面所傳遞的熱量。熱導率大,表示物體是優良的熱導體;而熱導率小的是熱的不良導體或為熱絕緣體。

5G手機以及硬件終端產品的小型化、集成化和多功能化,毫米波穿透力差,電子設備和許多其他高功率系統的性能和可靠性受到散熱問題的嚴重威脅。要解決這個問題,散熱材料必須在導熱性、厚度、靈活性和堅固性方面獲得更好的性能,以匹配散熱系統的復雜性和高度集成性。

氮化硼

氮化硼是由氮原子和硼原子所構成的晶體?;瘜W組成為43.6%的硼和56.4%的氮,具有四種不同的變體:六方氮化硼(HBN)、菱方氮化硼(RBN)、立方氮化硼(CBN)和纖鋅礦氮化硼(WBN)。

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氮化硼問世于100多年前,最早的應用是作為高溫潤滑劑的六方氮化硼,不僅其結構而且其性能也與石墨極為相似,且自身潔白,所以俗稱:白石墨。

氮化硼(BN)陶瓷是早在1842年被人發現的化合物。國外對BN材料從第二次世界大戰后進行了大量的研究工作,直到1955年解決了BN熱壓方法后才發展起來的。美國金剛石公司和聯合碳公司首先投入了生產,1960年已生產10噸以上。

1957年R·H·Wentrof率先試制成功CBN,1969年美國通用電氣公司以商品Borazon銷售,1973年美國宣布制成CBN刀具。

1975年日本從美國引進技術也制備了CBN刀具。

1979年首次成功采用脈沖等離子體技術在低溫低壓卜制備崩c—BN薄膜。

20世紀90年代末,人們已能夠運用多種物理氣相沉積(PVD)和化學氣相沉積(CVD)的方法制備c-BN薄膜。

從中國國內看,發展突飛猛進,1963年開始BN粉末的研究,1966年研制成功,1967年投入生產并應用于我國工業和尖端技術之中。

物質特性:

CBN通常為黑色、棕色或暗紅色晶體,為閃鋅礦結構,具有良好的導熱性。硬度僅次于金剛石,是一種超硬材料,常用作刀具材料和磨料。

氮化硼具有抗化學侵蝕性質,不被無機酸和水侵蝕。在熱濃堿中硼氮鍵被斷開。1200℃以上開始在空氣中氧化。真空時約2700℃開始分解。微溶于熱酸,不溶于冷水,相對密度2.29。壓縮強度為170MPa。在氧化氣氛下最高使用溫度為900℃,而在非活性還原氣氛下可達2800℃,但在常溫下潤滑性能較差。氮化硼的大部分性能比碳素材料更優。對于六方氮化硼:摩擦系數很低、高溫穩定性很好、耐熱震性很好、強度很高、導熱系數很高、膨脹系數較低、電阻率很大、耐腐蝕、可透微波或透紅外線。

物質結構:

氮化硼六方晶系結晶,最常見為石墨晶格,也有無定形變體,除了六方晶型以外,氮化硼還有其他晶型,包括:菱方氮化硼(r-BN)、立方氮化硼(c-BN)、纖鋅礦型氮化硼(w-BN)。人們甚至還發現像石墨稀一樣的二維氮化硼晶體。

通常制得的氮化硼是石墨型結構,俗稱為白色石墨。另一種是金剛石型,和石墨轉變為金剛石的原理類似,石墨型氮化硼在高溫(1800℃)、高壓(8000Mpa)[5~18GPa]下可轉變為金剛型氮化硼。是新型耐高溫的超硬材料,用于制作鉆頭、磨具和切割工具。

應用領域:

1. 金屬成型的脫模劑和金屬拉絲的潤滑劑。

2. 高溫狀態的特殊電解、電阻材料。

3. 高溫固體潤滑劑,擠壓抗磨添加劑,生產陶瓷復合材料的添加劑,耐火材料和抗氧化添加劑,尤其抗熔融金屬腐蝕的場合,熱增強添加劑、耐高溫的絕緣材料。

4. 晶體管的熱封干燥劑和塑料樹脂等聚合物的添加劑。

5. 壓制成各種形狀的氮化硼制品,可用做高溫、高壓、絕緣、散熱部件。

6. 航天航空中的熱屏蔽材料。

7. 在觸媒參與下,經高溫高壓處理可轉化為堅硬如金剛石的立方氮化硼。

8. 原子反應堆的結構材料。

9. 飛機、火箭發動機的噴口。

10.高壓高頻電及等離子弧的絕緣體。

11.防止中子輻射的包裝材料。

12.由氮化硼加工制成的超硬材料,可制成高速切割工具和地質勘探、石油鉆探的鉆頭。

13.冶金上用于連續鑄鋼的分離環,非晶態鐵的流槽口,連續鑄鋁的脫模劑。

14.做各種電容器薄膜鍍鋁、顯像管鍍鋁、顯示器鍍鋁等的蒸發舟。

15.各種保鮮鍍鋁包裝袋等。

16.各種激光防偽鍍鋁、商標燙金材料,各種煙標,啤酒標、包裝盒,香煙包裝盒鍍鋁等等。

17.化妝品用于口紅的填料,無毒又有潤滑性,又有光澤。

未來前景:

由于鋼鐵材料硬度很高,因而加工時會產生大量的熱,金剛石工具在高溫下易分解,且容易與過渡金屬反應,而c-BN材料熱穩定性好,且不易與鐵族金屬或合金發生反應,可廣泛應用于鋼鐵制品的精密加工、研磨等。c-BN除具有優良的耐磨性能外,耐熱性能也極為優良,在相當高的切削溫度下也能切削耐熱鋼、鐵合金、淬火鋼等,并且能切削高硬度的冷硬軋輥、滲碳淬火材料以及對刀具磨損非常嚴重的Si-Al合金等。實際上,由c-BN晶體(高溫高壓合成)的燒結體做成的刀具、磨具已應用于各種硬質合金材料的高速精密加工中。

c-BN作為一種寬禁帶(帶隙6.4 eV)半導體材料,具有高熱導率、高電阻率、高遷移率、低介電常數、高擊穿電場、能實現雙型摻雜且具有良好的穩定性,它與金剛石、SiC和GaN一起被稱為繼Si、Ge及GaAs之后的第三代半導體材料,它們的共同特點是帶隙寬,適用于制作在極端條件下使用的電子器件。與SiC和GaN相比,c-BN與金剛石有著更為優異的性質,如更寬的帶隙、更高的遷移率、更高的擊穿電場、更低的介電常數和更高的熱導率。顯然作為極端電子學材料,c-BN與金剛石更勝一籌。然而作為半導體材料金剛石有它致命的弱點,即金剛石的n型摻雜十分困難(其n型摻雜的電阻率只能達到102Ω·cm,遠遠未達到器件標準),而c-BN則可以實現雙型摻雜。例如,在高溫高壓合成以及薄膜制備過程中,添加Be可得到P型半導體;添加S、C、Si等可得到n型半導體。因此綜合看來c-BN是性能最為優異的第三代半導體材料,不僅能用于制備在高溫、高頻、大功率等極端條件下工作的電子器件,而且在深紫外發光和探測器方面有著廣泛的應用前景。事實上,最早報道了在高溫高壓條件下制成的c-BN發光二極管,可在650℃的溫度下工作,在正向偏壓下二極管發出肉眼可見的藍光,光譜測量表明其最短波長為215 nm(5.8 eV)。c-BN具有和GaAs、Si相近的熱膨脹系數,高的熱導率和低的介電常數,絕緣性能好,化學穩定性好,使它成為集成電路的熱沉材料和絕緣涂覆層。此外c-BN具有負的電子親和勢,可以用于冷陰極場發射材料,在大面積平板顯示領域具有廣泛的應用前景。

光學應用方面,由于c-BN薄膜硬度高,并且從紫外(約從200 nm開始)到遠紅外整個波段都具有高的透過率,因此適合作為一些光學元件的表面涂層,特別適合作為硒化鋅(ZnSe)、硫化鋅(ZnS)等窗口材料的涂層。此外,它具有良好的抗熱沖擊性能和商硬度,有望成為大功率激光器和探測器的理想窗窗口材料。

高導熱絕緣氮化硼散熱膜

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六方氮化硼(h-BN)這種二維結構材料,又名白石墨烯,看上去像著名的石墨烯材料一樣,僅有一個原子厚度。但是兩者很大的區別是六方氮化硼是一種天然絕緣體而石墨烯是一種完美的導體。與石墨烯不同的是,h-BN的導熱性能很好,可以量化為聲子形式(從技術層面上講,一個聲子即是一組原子中的一個準粒子)。有材料專家說道:“使用氮化硼去控制熱流看上去很值得深入研究。我們希望所有的電子器件都可以盡可能快速有效地散射。而其中的缺點之一,尤其是在對于組裝在基底上的層狀材料來說,熱量在其中某個方向上沿著傳導平面散失很快,而層之間散熱效果不好,多層堆積的石墨烯即是如此。”與石墨中的六角碳網相似,六方氮化硼中氮和硼也組成六角網狀層面,互相重疊,構成晶體。晶體與石墨相似,具有反磁性及很高的異向性,晶體參數兩者也頗為相近。

二維氮化硼散熱膜是一種性能優異的均熱散熱材料。傳統的人工石墨膜和石墨烯薄膜具有電磁屏蔽的特性,在5G通訊設備中的應用場景受限,特別是在分布式天線的5G手機中。二維氮化硼散熱膜具有極低的介電系數和介電損耗,是一種理想的透電磁波散熱材料,能被用于解決5G手機散熱問題。

基于二維氮化硼納米片的復合薄膜,此散熱膜具有透電磁波、高導熱、高柔性、高絕緣、低介電系數、低介電損耗等優異特性,是5G射頻芯片、毫米波天線領域最為有效的散熱材料之一。

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高導熱透波絕緣氮化硼膜材主要應用

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超薄透波絕緣氮化硼膜材的模切加工

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    <b class='flag-5'>高</b><b class='flag-5'>絕緣</b>散熱材料 | 石墨片<b class='flag-5'>氮化硼</b>散熱<b class='flag-5'>膜</b>復合材料

    碳化硅 (SiC) 與氮化鎵 (GaN)應用 | 氮化硼導熱絕緣

    SiC和GaN被稱為“寬帶隙半導體”(WBG)。由于使用的生產工藝,WBG設備顯示出以下優點:1.寬帶隙半導體氮化鎵(GaN)和碳化硅(SiC)在帶隙和擊穿場方面相對相似。氮化鎵的帶隙為3.2eV
    的頭像 發表于 09-16 08:02 ?875次閱讀
    碳化硅 (SiC) 與<b class='flag-5'>氮化</b>鎵 (GaN)應用  | <b class='flag-5'>氮化硼</b><b class='flag-5'>高</b><b class='flag-5'>導熱</b><b class='flag-5'>絕緣</b>片

    V0阻燃等級氮化硼導熱絕緣

    傳遞,進行散熱。MOS管在電子電路中起到放大或者開關電路的作用,所以絕緣導熱性能材料是為MOS管散熱材料的首先考慮的參數。目前較為普遍的熱管理材料方案是使用導
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    V0阻燃等級<b class='flag-5'>氮化硼</b><b class='flag-5'>高</b><b class='flag-5'>導熱</b><b class='flag-5'>絕緣</b>片

    科學家提出傾斜臺階面外延生長菱方氮化硼單晶方法

    來源:中國科學院物理研究所 常見的六方相氮化硼(hBN)因化學穩定、導熱性能好以及表面無懸掛鍵原子級平整等特點,被視為理想的寬帶隙二維介質材料。菱方相氮化硼(rBN)可以保持hBN較多優異性質,并
    的頭像 發表于 05-07 17:55 ?923次閱讀
    科學家提出傾斜臺階面外延生長菱方<b class='flag-5'>氮化硼</b>單晶方法

    北京大學問世世界最薄光學晶體:氮化硼晶體

    據悉,光學晶體被譽為激光技術的核心部件,廣泛運用于微納加工、量子光源及生物檢測等領域。北京大學科研團隊通過不斷嘗試,最終確定氮化硼作為最適合研發新型激光器的材料。
    的頭像 發表于 04-26 10:41 ?807次閱讀

    5G通信散熱的VC及絕緣導熱透波氮化硼材料

    下,VC等相變傳熱技術的發展和應用切實決定著通信產品散熱可靠性與性能升級空間,具有至關重要的意義。關鍵字:二維氮化硼材料,5G,絕緣導熱均熱,VC均熱板1散熱器
    的頭像 發表于 04-02 08:09 ?1175次閱讀
    5G通信散熱的VC及<b class='flag-5'>絕緣</b><b class='flag-5'>導熱</b>透波<b class='flag-5'>氮化硼</b>材料

    導熱絕緣透波超薄氮化硼均熱

    隨著第五代移動通信技術(5G技術)的出現與快速發展,電子產品尤其是智能手機、平板電腦等產品,越發朝著高性能、集成和微型化的方向發展。功耗成倍的增長將導致電子芯片在狹小空間內產生過高的熱流密度
    的頭像 發表于 02-23 08:09 ?962次閱讀
    <b class='flag-5'>高</b><b class='flag-5'>導熱</b><b class='flag-5'>絕緣</b>透波超薄<b class='flag-5'>氮化硼</b>均熱<b class='flag-5'>膜</b>
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