SuperViewW1白光輪廓儀是以白光干涉技術(shù)為原理,實(shí)現(xiàn)器件亞納米級(jí)表面形貌測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。多用于測(cè)量大范圍光滑的樣品,尤其擅長(zhǎng)亞納米級(jí)超光滑表面的檢測(cè),追求檢測(cè)數(shù)值的準(zhǔn)確;測(cè)量行程有140*100*100㎜,對(duì)于測(cè)量物體整個(gè)區(qū)域表面情況,還可以使用自動(dòng)拼接測(cè)量、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能。拼接測(cè)量功能3軸光柵閉環(huán)反饋,在樣品表面抽取多個(gè)區(qū)域測(cè)量,就可以快速實(shí)現(xiàn)大區(qū)域、高精度的測(cè)量,從而對(duì)樣品進(jìn)行評(píng)估分析。


以共聚焦測(cè)量技術(shù)為原理的VT6000共聚焦顯微鏡,擅長(zhǎng)微納級(jí)粗糙輪廓的檢測(cè),更容易測(cè)陡峭邊緣,雖在檢測(cè)分辨率上略遜,但成像圖色彩斑斕,便于觀察。


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