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白光輪廓儀與共聚焦顯微鏡的區(qū)別是什么?

中圖儀器 ? 2023-02-23 15:57 ? 次閱讀

SuperViewW1白光輪廓儀是以白光干涉技術(shù)為原理,實現(xiàn)器件亞納米級表面形貌測量的光學檢測儀器。多用于測量大范圍光滑的樣品,尤其擅長亞納米級超光滑表面的檢測,追求檢測數(shù)值的準確;測量行程有140*100*100㎜,對于測量物體整個區(qū)域表面情況,還可以使用自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能。拼接測量功能3軸光柵閉環(huán)反饋,在樣品表面抽取多個區(qū)域測量,就可以快速實現(xiàn)大區(qū)域、高精度的測量,從而對樣品進行評估分析。

pYYBAGPcd1aAW7BdAAI5ij2eqKA070.pngSuperViewW1白光輪廓儀poYBAGK6yxmAUeJtAAGT66bq4cg363.png超光滑透鏡測量

以共聚焦測量技術(shù)為原理的VT6000共聚焦顯微鏡,擅長微納級粗糙輪廓的檢測,更容易測陡峭邊緣,雖在檢測分辨率上略遜,但成像圖色彩斑斕,便于觀察。

pYYBAGPvJ_-ASIyyAAJkKpRnkg4906.jpgVT6000共聚焦顯微鏡poYBAGP0lpqATxTXAAHL0K4X6ac704.png
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