大家好，我是【廣州工控傳感★科技】4515DO-DS3BK004DP壓差傳感器事業部，張工。

4515DO-DS3BK004DP測量超低空氣或氣體壓力從25 Pa（水中0.1）到滿量程。這些傳感器基于一種創新MEMS技術，該技術將微流通道集成在硅傳感器芯片中。

同時，傳感器使用經驗證的原理，通過熱質量流量測量推斷壓差（圖1）。加熱元件位于兩個溫度敏感電阻器之間。氣流將熱量從上游傳輸到下游電阻器，導致它們之間的溫差，從而產生與質量流量成比例的電壓信號。由于流量是由兩個傳感器端口之間的壓差引起的，因此輸出信號也是所施加壓差的測量值。

圖2顯示了作為壓差函數的基本4515DO-DS3BK004DP傳感元件的未放大輸出。具有高動態范圍和對低壓（尤其是零下）的高靈敏度。傳感器為校準、溫度補償和放大提供數字信號調節。根據是否需要高靈敏度、高動態范圍或線性輸出信號，壓力傳感器可以根據不同的應用要求進行優化。

2、傳感器結構

4515DO傳感器基于硅傳感器芯片，尺寸僅為4 mm（0.006 in），其中包含微流道和傳感元件。通過將微型流道集成到傳感器芯片級（圖3），4515DO壓力傳感器可以實現高達200000 Pa/(ml/s)的極高氣動阻抗，比同類傳感器高1000倍。這將通過傳感器的氣體流量降至絕對最小，并在多塵和潮濕環境中以及使用長連接管或過濾器時提供獨特的應用優勢。在傳統的基于流量的差壓傳感器中，通過傳感器的流道和氣流由塑料外殼的幾何形狀決定。相比之下，4515DO-DS3BK004DP器件的微流道是在硅芯片級定義的。

3、使用差壓傳感器進行流量測量

差壓傳感器的極低壓力范圍僅為幾毫巴（幾英寸水柱），通常用于管道中的體積流量測量。例如，醫療設備中的呼吸流量測量以及HVAC應用中的空氣流量測量或過濾器控制。人工流量限制，例如通過擋板、孔板或層流元件，會導致流量壓降，該壓降是體積流量（V）的測量值，可通過差壓傳感器檢測

來自MEAS精量的基于流量的4515DO傳感器被校準為壓差，可以檢測旁通配置中流過流量元件的壓降。由于其非常高的氣動阻抗，通過傳感器的流量限制在最大120-180μl/min。這意味著傳感器的行為幾乎類似于基于膜的差壓傳感器，不允許任何流量通過。然而，它仍然顯示出對低壓的高測量靈敏度，這是熱質量流量傳感原理的典型特征。