白光干涉儀又叫做非接觸式光學(xué)3D表面輪廓儀，是以白光干涉掃描技術(shù)為基礎(chǔ)研制而成用于樣品表面微觀形貌檢測的精密儀器。它以白光干涉技術(shù)為原理，光源發(fā)出的光經(jīng)過擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測表面反射回來，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號，通過測量干涉條紋的變化，能實現(xiàn)表面輪廓的三維重建并可進(jìn)行輪廓尺寸分析。

白光干涉儀的形貌測量，以表面形貌為主，即工件某一個表面上的微觀形貌：

1、微觀輪廓尺寸測量：主要是臺階高、槽深之類，涉及到最小縱向10nm量級，在驗證上可以與原子力顯微鏡、臺階儀交叉驗證。

2、粗糙度測量：白光測量的粗糙度范圍從0.1nm到10μm級別。面和線粗糙度測量，最高可確保0.1nm的測量可靠性，不限制材質(zhì)和形狀。

SuperViewW1白光干涉儀粗糙度RMS重復(fù)性0.005nm，利用光波干涉原理 將被測表面的形狀誤差以干涉條紋圖形顯示出來，并利用放大倍數(shù)高的顯微鏡將這些干涉條紋的微觀部分放大后進(jìn)行測量，以得出被測表面粗糙度，可以輕松測量曲面粗糙度。

針對葉片類曲面零部件，型號為W3的白光干涉儀能夠在空間范圍內(nèi)實現(xiàn)曲面全自動測量功能，解決其形狀不規(guī)則裝夾不便、測量點(diǎn)分布不在同一個面、單次測量效率低的問題。