季豐2DX-ray分析能力可實現(xiàn)細微缺陷清晰展現(xiàn)
Dage Quadra7介紹
作為Dage Quadra 系列中前沿的產(chǎn)品，Dage Quadra7擁有出色的亞微米級高分辨率和襯度，可實現(xiàn)細微缺陷清晰展現(xiàn)。
采用高功率（160kV 20W）X射線源技術，相較同類產(chǎn)品（15W）大大提升了X射線通量，在維持小焦點尺寸的同時提高了成像效率、襯度和信噪比。
在10W以內(nèi)可實現(xiàn)0.1um的分辨率。
配有670萬像素的C-MOS平板探測器，幾何放大倍數(shù)可達2500倍。
JIMA卡專用于測量X射線系統(tǒng)的分辨率，以保證X射線系統(tǒng)在微米和納米焦點的圖像質(zhì)量。
DageQuadra7 JIMA卡實測可達到最高的分辨0.4um。
失效分析：細微缺陷及T角度觀察Via
失效分析：自動測量孔洞率與球徑及數(shù)據(jù)導出
特殊能力：輻射累積測試
Dage Quadra7可通過曝光距離、管電壓、管功率、暴露時間等參數(shù)計算得到樣品所受輻射劑量。方便進行輻射累積實驗及芯片軟失效分析。
劑量單位為拉德（rad），1rad=0.01Gy
GIGA FORCE
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原文標題：季豐先進2DX-ray分析能力介紹
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