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ASML和IMEC宣布共同開發high-NA EUV光刻試驗線

微云疏影 ? 來源:綜合整理 ? 作者:綜合整理 ? 2023-06-30 09:29 ? 次閱讀
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6月29日,比利時微電子研究中心(imec)和阿斯麥asml宣布,將在高端high-na極紫外線(euv)光馬托格測試線的下一階段加強合作。

據悉,簽署的諒解備忘錄包括在比利時魯汶設置imec測試線及asml的所有尖端光標及測量設備的服務。最新款0.55 na euv (twinscan exe:5200)、最新款0.33 na euv (twinscan nxe:3800)、duv淬火(twinscan nxe: 2100i)、yieldstar光學測量、hmi多光束。

報道指出,這兩家企業在光控圖表和測量技術方面的合作,與歐盟及其成員國的前景和計劃是一致的。因此,imec和asml的合作被納入荷蘭政府目前正在討論的ipcei提案。

asml的總裁兼首席執行官peter wennink表示,asml為促進歐洲半導體研究和持續創新,在imec最尖端測試設備上做出了重要承諾。隨著人工智能ai)迅速擴展到自然語言處理、電腦視覺、自律系統等,業務的復雜性越來越大。因此,開發在不耗盡地球寶貴能源資源的情況下,滿足這種計算需求的芯片技術是最重要的。

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