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求一種高壓大電流DMOS版圖設計方案

冬至子 ? 來源:半導體技術人 ? 作者:半導體技術人 ? 2023-07-05 15:20 ? 次閱讀
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功率MOS場效應晶體管電參數指標中規定的電參數一般分為三大類:直流參數、交流參數和極限參數。直流參數包括:漏源擊穿電壓BVDSS,靜態漏源導通電阻RDS(on),柵閾值電壓VGS(th),正向跨導gfs等;交流參數包括:輸入電容Ciss、輸出電容Coss,反向傳遞電容Crss,開關時間ton、ts、tf等;極限參數包括:連續電流ID和脈沖漏電流IDM,最大耗散功率PD,柵源電壓VGS,單脈沖雪崩耐量EAS等。

功率MOS場效應晶體管的設計任務就是根據用戶使用要求,確定主要電學參數指標,設計出滿足參數指標要求的縱向參數、橫向參數和熱學參數。

功率MOS場效應晶體管在實際設計過程中,主要從以下幾個方面進行設計:功率MOS場效應晶體管的結構設計、功率MOS場效應晶體管的主要電參數設計、功率MOS場效應晶體管的工藝設計以及功率MOS場效應晶體管的零部件設計。

由產品電參數指標可知,該產品具有漏源擊穿電壓(BVDSS)、導通電阻低、電流容量高、耗散功率大、抗靜電擊穿能力強等特點。產品具有電壓控制、快開關速度、易并聯以及電參數溫度穩定性高。非常適合應用于開關電源、馬達驅動、逆變器、斬波器、音頻放大器以及高能量脈沖電路。

表1 產品電參數指標(25℃)

圖片

VDMOS的版圖制造過程可以分為八個步驟,版次內容: (1)P+版圖;(2)柵氧化層版圖;(3)多晶硅區版圖;(4)截止環版圖;(5)N+版圖;(6)孔版圖;(7)鋁版圖;(8)鈍化版圖。

圖片

圖1 P+版圖 圖2 N+版圖

圖片

圖3 孔版圖 圖4 鋁版圖

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圖5 芯片角版圖

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