實驗名稱:基于MEMS工藝柔性基底磁通門傳感器性能測試與分析
本文主要搭建了一套磁通門性能測試系統,主要測試設備有:信號發生器、功率放大器、磁強計、電流表、磁通門傳感器、示波器等。
磁通門傳感器測試系統:
激勵信號由任意信號發生器33220A和功率放大器ATA-4011串聯產生。任意信號發生器可產生正弦波、方波、三角波、鋸齒波,也可以通過程序控制產生特殊形狀的波形。功率放大器ATA-4011帶寬可達到1MHz,最大提供2.82App的電流值,滿足測量需求。
為了測量激勵電流有效值,在激勵電路上串聯一個電流表,當磁通門傳感器作為磁場傳感器時,被測磁場由直流電源激勵一個螺線管產生,為了標定被測磁場的大小,在螺線管前串聯一個電流表測試螺線管電流。
基于MEMS工藝的柔性基底磁通門磁場傳感器
當磁通門作為電流傳感器時,將柔性基底磁通門傳感器粘貼在一個圓柱形的支撐骨架上,使柔性基底傳感器鐵芯兩端緊挨以使磁路閉合,并將被測電流穿過支撐骨架中心。被測電流用直流電源提供,并串聯一個電流表用于標定被測電流值,在磁通門的感應線圈兩端接示波器對輸出信號進行分析。
基于MEMS工藝的柔性基底磁通門電流傳感器
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