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模塊化檢漏儀應(yīng)用于電子元器件檢漏系統(tǒng)

上海伯東某生產(chǎn)氦氣檢漏系統(tǒng)公司, 其研發(fā)的小型氦檢漏系統(tǒng)內(nèi)部集成伯東 Pfeiffer 檢漏模塊 ASI 35 用于電子元器件檢漏. 真空模式下, 漏率 5x10-7 mbar l/s.

電子元器件檢漏系統(tǒng)功能
定制腔體內(nèi)放入經(jīng)過(guò)壓氦的電子元器件, 真空模式下, 測(cè)試元件的整體漏率值.

模塊式氦質(zhì)譜檢漏儀ASI 35 主要技術(shù)參數(shù)

測(cè)試方法	真空模式和吸槍模式
真空模式下氦氣最小檢測(cè)漏率	3.5X10-8mbar l/s 大漏模式 1X10-10mbar l/s 常規(guī)模式 5X10-12mbar l/s 高靈敏度模式
吸槍模式下氦氣最小檢測(cè)漏率	1.5X10-8mbar l/s
檢測(cè)氣體	4He, 3He, H2
初檢壓力	18 mbar 大漏模式 1 mbar 常規(guī)模式 0.2mbar 高靈敏度模式
氦氣抽速	1.8 l/s 常規(guī)模式 6 l/s 高靈敏度模式
啟動(dòng)時(shí)間	< 3 min
真空接口	DN 25 ISO-KF; DN 16 ISO-KF
Interface	RS-232, Ethernet, Profibus, USB
I/O interface	6 個(gè)數(shù)字輸入 (所配功能可設(shè)置） 3 個(gè)模擬輸出 (可配置: 氦信號(hào)記錄, 尾數(shù), 指數(shù), 吸氣壓力) 5 個(gè)繼電器輸出 (可配置的分配功能) 4 個(gè)晶體管 / 集電極開路輸出
尺寸: L × W × H	真空模塊 279 × 264 × 197 mm 電子模塊 216 × 317 × 111 mm 控制面板 241 × 54 × 133 mm
重量	真空模塊 15 kg; 電子模塊 5 kg; 控制面板 1.3 kg
通用電壓	90 – 240 V AC; 50/60 Hz
最大功耗	300 W
工作溫度	10 – 45 °C

模塊式氦質(zhì)譜檢漏儀典型應(yīng)用:新能源鋰電池檢漏, 板換檢漏, 繼電器檢漏, 汽車油箱檢漏, 傳感器檢漏等行業(yè).
汽車行業(yè)：安全氣囊, 散熱器, 燃料箱等
制冷行業(yè)：蒸發(fā)器, 壓縮機(jī), 空調(diào)管路等
其他行業(yè)：機(jī)械零部件, 罐子, 閥門等

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