據(jù)臺(tái)灣《經(jīng)濟(jì)日?qǐng)?bào)》報(bào)道，asml曾于2022年表示，將在位于中國(guó)臺(tái)灣地區(qū)新北市的工廠投資300億臺(tái)幣（約2.5萬(wàn)億韓元）用于制造設(shè)備等。8月29日，臺(tái)灣經(jīng)濟(jì)部批準(zhǔn)asml增資1.4歐元（約56.4億臺(tái)幣）的計(jì)劃，資金將用于晶圓測(cè)量設(shè)備等的委托生產(chǎn)，asml將提供相關(guān)技術(shù)支援及教育服務(wù)。

asml計(jì)劃投資300億臺(tái)幣，在新北市林口宮產(chǎn)業(yè)專用園區(qū)設(shè)立工廠。臺(tái)灣經(jīng)濟(jì)部計(jì)劃向該項(xiàng)目提供2.85億臺(tái)幣（約2900億韓元）的補(bǔ)助金，該工廠將主要把重點(diǎn)放在2納米晶片光學(xué)測(cè)定設(shè)備的開發(fā)和制造上。

臺(tái)灣媒體8月29日?qǐng)?bào)道說(shuō)，臺(tái)灣經(jīng)濟(jì)當(dāng)局同時(shí)批準(zhǔn)了鴻海集團(tuán)向印度和越南的4家公司投資3.2億美元的計(jì)劃。批準(zhǔn)玉晶光電向茂晶光電（廈門）增資的計(jì)劃。