智能數(shù)控超聲波清洗發(fā)生器電源鍵合壓頭超聲波發(fā)生器頻率追蹤電路，涉及半導(dǎo)體鍵合技術(shù)領(lǐng)域，包括超聲波反饋回路和頻率追蹤電路；所述超聲波反饋回路包括：高頻交流不平衡電橋和變壓器，所述變壓器輸出同相端與電感L的一端連接，電感L的另一端與交流不平衡電橋的一端連接，高頻交流不平衡電橋的另一端與變壓器的反相端連接。

智能數(shù)控超聲波清洗發(fā)生器電源交流不平衡電橋包括參比橋臂和測(cè)量橋臂自動(dòng)頻率追蹤電路晶圓壓頭的的工作頻率，高頻脈沖互感器CT1、高頻脈沖互感器CT2、高頻脈沖互感器CT3；避免了每次更換壓頭要重新調(diào)整機(jī)器的工作頻率的麻煩，電路自動(dòng)補(bǔ)償功率與振幅，精度高、功率穩(wěn)定，使用方便，而且故障率低，維護(hù)成本大幅減少，使用壽命更長(zhǎng)。

智能數(shù)控超聲波清洗發(fā)生器電源包括 取樣信號(hào)Vab、Va和Vb通過各自的運(yùn)算放大器OPA調(diào)理至模數(shù)轉(zhuǎn)換模塊ADC模塊要求的輸入范圍； 數(shù)字信號(hào)處理器DSP通過數(shù)字總線獲得所述取樣信號(hào)Vab、Va和Vb的轉(zhuǎn)換值，通過算法計(jì)算出驅(qū)動(dòng)信號(hào)的頻率、相位以及占空比； 通過IGBT驅(qū)動(dòng)芯片控制IGBT橋式電路輸出所需的交流電壓； 所述交流電壓通過變壓器和電感電路后驅(qū)動(dòng)換能器。

智能數(shù)控超聲波清洗發(fā)生器電源

審核編輯 黃宇