牛津儀器推出突破性超快ALD產品,用于量子技術和先進研發
來源：牛津儀器
牛津儀器（Oxford Instruments）推出PlasmaPro ASP系統，這是其Atomfab?產品系列中的一款高速原子層沉積（ALD）研究系統。PlasmaPro ASP受益于新的專利遠程等離子體源設計、優化的腔室幾何形狀和用于離子能量控制的晶圓臺偏置。這些特性結合在一起，為量子應用提供了三倍快的ALD速率、低電阻率和高Tc超導氮化物薄膜，這是此次發布的最初應用重點。
等離子體源設計涉及與埃因霍溫理工大學（TU/e）的合作，該大學獲得了一個開發模塊，用于研究等離子體參數空間并確認高速率低損傷源特性。與TU/e聯合開發后發表的論文（Innovative remote plasma source for atomic layer deposition for GaN devices）在去年的AVS ALD/ALE。
會議上榮獲最佳論文獎。牛津儀器與TU/e的合作一直持續到工藝開發，過去一年，TU/e一直充當量子和其他應用的PlasmaPro ASP應用開發加速器。
PlasmaPro ASP系統是牛津儀器現有ALD工具集的絕佳補充，旨在通過創新的高速率源設計和超長機器正常運行時間，以及直觀軟件用戶界面來解決關鍵的量子挑戰。它在生產率和等離子體功能方面與眾不同，為在電子、光子學和量子技術領域的研究提供了一些獨特的機會。
審核編輯：湯梓紅
聲明：本文內容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網站授權轉載。文章觀點僅代表作者本人，不代表電子發燒友網立場。文章及其配圖僅供工程師學習之用，如有內容侵權或者其他違規問題，請聯系本站處理。
舉報投訴
-
晶圓
+關注
關注
52文章
4977瀏覽量
128319 -
量子技術
+關注
關注
0文章
130瀏覽量
12808
發布評論請先 登錄
相關推薦
Marvell發布突破性CPO架構，淺析互連產品的利弊得失
突破性CPO架構為人工智能領域的發展注入新的活力，也促使我們深入探究CPO技術給互連產品究竟會帶來怎樣的影響。 1 月 6 日，美國芯片大廠Marvell宣布重大突破，將共封裝光學架構
中科創達旗下MM Solutions推出突破性視頻降噪算法
在CES 2025上，中科創達旗下全球領先的移動和工業圖形圖像視覺技術公司MM Solutions重磅推出一款具有突破性的視頻降噪算法——MMS AI Video Denoiser。這款由先進
突破性技術實現超薄金剛石膜大量制造
近日，香港大學工程學院電機及電子工程學系的褚智勤副教授與機械工程系林原教授，攜手南方科技大學深港微電子系的李攜曦助理教授及北京大學東莞光電研究院的王琦教授，共同研發出了一項突破性的制造技術。該
全新NVIDIA NIM微服務實現突破性進展
全新 NVIDIA NIM 微服務實現突破性進展，可助力氣象技術公司開發和部署 AI 模型，實現對降雪、結冰和冰雹的預測。
泰克推出突破性功率測量工具，從容應對全球電氣化加速創新步伐
新產品系列包括業界領先的射頻隔離電流探頭和三通道雙向電源 泰克公司今日宣布推出一系列突破性功率測量儀器，旨在助力對功率容量和效率有更高要求的行業，促進行業創新。全新?TICP?系列?I
發表于 11-13 09:12
?175次閱讀
Melexis推出Arcminaxis位置感應技術及產品
Melexis 宣布推出突破性磁性技術Arcminaxis?。這一技術專為滿足市場對經濟實惠且高精度機器人關節位置感應解決方案需求的日益增長而設計。首款搭載Arcminaxis?
本源“量超融合先進計算平臺”入選2024算力中國·年度重大成果
近日，2024中國算力大會在河南鄭州開幕。大會主論壇上，“算力中國·年度重大成果”正式發布8項具有突破性意義的技術成果。本源量子與鄭州大學國家超級計算鄭州中心聯合申報的“量超融合
哈爾濱工業大學在超分辨顯微成像技術領域取得突破性進展
近日，哈爾濱工業大學儀器學院先進光電成像技術研究室(IPIC)李浩宇教授團隊在生物醫學超分辨顯微成像技術領域取得
周星工程研發ALD新技術，引領半導體工藝革新
在半導體技術日新月異的今天，韓國半導體廠商周星工程（Jusung Engineering）憑借其最新研發的原子層沉積（ALD）技術，再次在全球半導體行業中引起了廣泛關注。據韓媒報道，這
里瑞通推出突破性晶片液冷技術
在云計算和數據中心領域，里瑞通（Digital Realty）一直是技術創新的引領者。近日，該公司宣布推出了一項突破性的晶片液冷技術，為高密度部署支持領域帶來了新的發展。
量子互聯網關鍵連接技術首次取得突破性進展
量子互聯網關鍵連接技術首次取得突破性進展 為了成功地解決量子信息在遠程傳輸過程中的損失問題，一項新的研究提供了一種創新的方案：將整個網絡劃分為較小的單元，再利用共享
德州儀器推出全新功率轉換器件
德州儀器（TI）近日推出兩款創新的功率轉換器件產品系列，旨在幫助工程師在更緊湊的空間內實現更高的功率輸出，從而以更低的成本提供卓越的功率密度。這一突破性的
【量子計算機重構未來 | 閱讀體驗】 跟我一起漫步量子計算
的未來。首先，量子計算機在藥物研發領域具有顛覆性的潛力。通過模擬分子的復雜相互作用，量子計算機可以加速新藥的研發過程，這不僅可以更快地找到治
發表于 03-13 19:28
【量子計算機重構未來 | 閱讀體驗】+ 初識量子計算機
欣喜收到《量子計算機——重構未來》一書，感謝電子發燒友論壇提供了一個讓我了解量子計算機的機會！
自己對電子計算機有點了解，但對量子計算機真是一無所知，只是聽說過量子糾纏、
發表于 03-05 17:37
工商網監
評論