應(yīng)用背景

探針臺(tái)是半導(dǎo)體行業(yè)重要的檢測(cè)裝備之一，其廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、 高速器件的精密電氣測(cè)量，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。

半導(dǎo)體測(cè)試可以按生產(chǎn)流程可以分為三類：驗(yàn)證測(cè)試、晶圓測(cè)試測(cè)試、封裝檢測(cè)。探針臺(tái)主要用于晶圓制造環(huán)節(jié)的晶圓檢測(cè)、芯片研發(fā)和故障分析等應(yīng)用。

除探針臺(tái)外，晶圓檢測(cè)環(huán)節(jié)還需要使用測(cè)試儀/機(jī)，測(cè)試儀/機(jī)用于檢測(cè)芯片功能和性能，探針臺(tái)實(shí)現(xiàn)被測(cè)芯片與測(cè)試機(jī)的連接，通過(guò)探針臺(tái)和測(cè)試機(jī)的配合使用，可以對(duì)晶圓上的晶粒進(jìn)行功能和電參數(shù)測(cè)試或射頻測(cè)試，可以對(duì)芯片的良品、不良品的進(jìn)行篩選。

由于晶粒的尺寸越來(lái)越小，對(duì)測(cè)試的精確度要求也越來(lái)越高。但由于機(jī)構(gòu)在組裝時(shí)，會(huì)產(chǎn)生組裝上的誤差，這些組裝上的誤差可能來(lái)自于搖擺角的誤差、俯仰角的誤差或滾動(dòng)角的誤差，應(yīng)為這些誤差的存在，會(huì)使機(jī)臺(tái)整體的精度下降，所以2D補(bǔ)償功能也是為了解決這樣的問(wèn)題而開(kāi)發(fā)的。

2D補(bǔ)償功能應(yīng)用的函數(shù)：

1） 設(shè)置2D補(bǔ)償表，

APS_set_2d_compensation_table

Syntax：

C/C++：

I32 APS_set_2d_compensation_table(I32 *AxisIdArray, U32 CompType, U32 *TotalPointArray, F64 *StartPosArray, F64 *IntervalArray, F64 *CompDataArrayX, F64 *CompDataArrayY)

Visual Basic：

APS_set_2d_compensation_table (ByVal AxisIdArray() As Integer, ByVal CompType As Uinteger, ByVal TotalPointArray() As Uinteger, ByVal StartPosArray() As Double, ByVal IntervalArray() As Double, ByVal CompDataArrayX() As Double, ByRef CompDataArrayY() As Double) As Integer

2）讀取2D補(bǔ)償表

APS_get_2d_compensation_table

Syntax：

C/C++： I32 APS_get_2d_compensation_table(I32 *AxisIdArray, U32 *CompType, U32 *TotalPointArray, F64 *StartPosArray, F64 *IntervalArray, F64 *CompDataArrayX, F64 *CompDataArrayY)

Visual Basic： APS_get_2d_compensation_table (ByVal AxisIdArray() As Integer, ByRef CompType As Uinteger, ByVal TotalPointArray() As Uinteger, ByVal StartPosArray() As Double, ByVal IntervalArray() As Double, ByVal CompDataArrayX() As Double, ByRef CompDataArrayY() As Double) As Integer

3）啟動(dòng)2D補(bǔ)償功能

APS_start_2d_compensation

Syntax：

C/C++：I32 APS_start_2d_compensation( I32 Axis_ID, I32 Enable )

Visual Basic： APS_start_2d_compensation (ByVal Axis_ID As Integer, ByVal Enable As Integer) As Integer

4）線性2D補(bǔ)償功能

APS_absolute_linear_move_2d_compensation

Syntax：

C/C++： I32 APS_absolute_linear_move_2d_compensation( I32 *Axis_ID_Array, F64 *Position_Array, F64 Max_Linear_Speed )

Visual Basic：APS_absolute_linear_move_2d_compensation (ByVal Axis_ID_Array() As Integer, ByVal Position_Array() As Double, ByVal Max_Linear_Speed As Double) As Integer

5）讀取2D補(bǔ)償命令位置

APS_get_2d_compensation_command_position

Syntax：

C/C++：I32 APS_get_2d_compensation_command_position( I32 Axis_ID, F64 *CommandX, F64 *CommandY, F64 *PositionX, F64 *PositionY )

Visual Basic： APS_get_2d_compensation_command_position (ByVal Axis_ID As Integer, ByRef CommandX As Double, ByRef CommandY As Double, ByRef PositionX As Double, ByRef PositionY As Double) As Intege

調(diào)試界面如下，

2D補(bǔ)償功能支持的運(yùn)動(dòng)控制卡類型

目前凌華支持2D補(bǔ)償功能的運(yùn)動(dòng)控制卡類型包括：脈沖控制卡AMP-204C/208C，EtherCAT總線型運(yùn)動(dòng)控制卡PCIe-833x系列，以下是相關(guān)產(chǎn)品的介紹

AMP-204C/208C脈沖運(yùn)動(dòng)控制卡介紹

AMP-204C/AMP-208C 是凌華科技開(kāi)發(fā)的基于 DSP 的 高級(jí)運(yùn)動(dòng)控制卡。不僅支持 4/8 軸脈沖型信號(hào)命令，而且還提供開(kāi)環(huán)電路控制選項(xiàng)，并支持多個(gè)不同伺服驅(qū)動(dòng)器的位置命令。AMP-204C/AMP-208C 通過(guò)高速 PCI 總線與操作系統(tǒng)交換數(shù)據(jù)，包括運(yùn)動(dòng)控制命令、反饋數(shù)據(jù)、參數(shù)等。配合凌華科技獨(dú)家 Softmove 內(nèi)核，該系統(tǒng)提供多種移動(dòng)控制功能，包括 T/S速度剖面規(guī)劃、點(diǎn) 對(duì)點(diǎn)移動(dòng)、多維插補(bǔ)和主/從運(yùn)動(dòng)等。

AMP-204C/208C產(chǎn)品特性

? 任意2~6軸直線插補(bǔ)

? 任意3軸圓弧插補(bǔ)

? 任意3軸螺旋插補(bǔ)（含螺線插補(bǔ)）

? 多軸同步運(yùn)動(dòng)，包含：龍門(mén)架模式和電子齒輪等

? 點(diǎn)表功能可用于多線程應(yīng)用

? 速度規(guī)劃和點(diǎn)表函數(shù)支持多線程應(yīng)用程序

? 梯形和S型速度曲線，用戶自定義速度配置

? 運(yùn)動(dòng)中可在任意時(shí)刻改變目標(biāo)位置和速度

? 背隙補(bǔ)償?shù)?/p>

PCIe-833x EtherCAT運(yùn)動(dòng)控制卡介紹

凌華科技PCIe-833x是一款基于硬件的EtherCAT運(yùn)動(dòng)控制卡，能夠同時(shí)支持多達(dá)64個(gè)同步軸和超過(guò)10,000 個(gè)I/O 點(diǎn)。PCIe-833x具有專用的隔離緊急停止輸入(EMG) 和可配置的隔離高速數(shù)字輸入，不僅具有通用傳感器輸入，而且具有高達(dá)1MHz 輸入頻率的脈沖輸入。

在250μs 的最小通訊周期內(nèi)提供最佳的抖動(dòng)控制，優(yōu)化半導(dǎo)體、電子制造等自動(dòng)化應(yīng)用領(lǐng)域的同步I/O 性能。

PCIe-833x產(chǎn)品特性：

? 通過(guò)EtherCAT 可實(shí)現(xiàn)多達(dá)64 軸的運(yùn)動(dòng)控制和10,000 個(gè)I/O 點(diǎn)控制

? EtherCAT 控制周期高達(dá)250μs

? 兼容大多數(shù)EtherCAT從站

? 專用的緊急停止輸入

? 板卡自帶4通道隔離數(shù)字輸入/4通道隔離數(shù)字輸出

? 單通道脈沖輸入

? 針對(duì)軌跡應(yīng)用的點(diǎn)表功能

? 支持最高達(dá)16D直線插補(bǔ)，3D圓弧插補(bǔ)和3D螺旋插補(bǔ)

? 對(duì)于獨(dú)立的應(yīng)用，提供8個(gè)程序可下載功能

? 支持從站ID設(shè)置

凌華科技運(yùn)動(dòng)控制解決方案

凌華科技是邊緣計(jì)算解決方案的全球領(lǐng)導(dǎo)廠商，解決方案包括加固級(jí)模塊與系統(tǒng)、實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)采集解決方案，以及實(shí)現(xiàn)人工智能+物聯(lián)網(wǎng)(AIoT)的應(yīng)用等。凌華科技是Intel Internet of Things Solutions Alliance優(yōu)選會(huì)員(Premier Member)，NVIDIA全球伙伴，并積極參與多項(xiàng)國(guó)際技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)，包括Open Compute Project (OCP)、Object Management Group (OMG)和ROS 2技術(shù)指導(dǎo)委員會(huì)(Technical Steering Committee; TSC)。

審核編輯：劉清