C4F8氣體在半導(dǎo)體制程中同樣占據(jù)了十分重要的地位，那么C4F8有哪些重要的應(yīng)用呢？

C4F8的分子結(jié)構(gòu)？

細(xì)心的朋友會發(fā)現(xiàn)，我們在介紹氣體或化學(xué)品時，總是會先介紹他們的化學(xué)式，分子結(jié)構(gòu)，化學(xué)鍵，極性等，有人認(rèn)為多此一舉，但是我認(rèn)為這些內(nèi)在的結(jié)構(gòu)往往導(dǎo)致了其物化性質(zhì)的多樣性。我們不僅要知其表象，更要知其本質(zhì)，這樣在復(fù)雜的半導(dǎo)體工藝制程中我們才能從變化紛繁的表象中找到其根因，因此在學(xué)習(xí)基礎(chǔ)知識時，一定不要嫌麻煩，需要夯實(shí)基礎(chǔ)。

C4F8,八氟環(huán)丁烷,也可以被稱為全氟環(huán)丁烷，由四個碳原子和八個氟原子組成，每個碳原子上都連接著兩個F原子，構(gòu)成了一個完全氟化的環(huán)狀結(jié)構(gòu)。

什么叫烷？

“烷”這個詞取自于烷烴，表明化合物中的碳原子之間僅僅由單鍵相連。烷烴是有機(jī)化學(xué)中的基本結(jié)構(gòu)單元，它們可以是直鏈結(jié)構(gòu)，也可以是環(huán)狀結(jié)構(gòu)。

為什么叫全氟？

環(huán)狀烷烴的化學(xué)通式為：CnH2n。也就是說每個碳可以連接2個氫原子，而4個碳可以連接8個氫原子。如果這8個氫原子都被F原子取代，我們就叫全氟，如果都被氯原子取代，就叫全氯。

為什么叫環(huán)丁烷？

烷烴根據(jù)其C原子數(shù)量不同，按照十天干：甲、乙、丙、丁、戊、己、庚、辛、壬、癸來進(jìn)行命名,分別代表1-10個C原子。例如CH4代表甲烷，C2H6代表乙烷等等。環(huán)，則表示其具有環(huán)狀結(jié)構(gòu)。如果是直鏈結(jié)構(gòu)，則不用帶“環(huán)“。

C4F8的物化性質(zhì)？

狀態(tài)：常溫常壓下為氣態(tài)，無色，無味

沸點(diǎn)：-5.85°C

熔點(diǎn)：-45.6°C

密度：9.52 kg/m3，遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于空氣的密度，1.29 kg/m3

溶解性：基本不溶于水，但可溶于某些有機(jī)溶劑。

穩(wěn)定性：非常穩(wěn)定，化學(xué)惰性強(qiáng)，耐高溫

電絕緣性：具有很高的電絕緣性

C4F8的應(yīng)用？

干法刻蝕：在bosch工藝中，C4F8作為一種保護(hù)氣，對硅深孔的側(cè)壁進(jìn)行保護(hù)，這樣能大大提高硅刻蝕的各項(xiàng)異性。當(dāng)然，C4F8也可以作為刻蝕氣體來使用，它適用于蝕刻氧化硅、氮化硅和其他低介電常數(shù)材料。通常與其他氣體如氬（Ar）、氧氣（O2）或氮（N2）混合使用以調(diào)整蝕刻過程。

制冷劑：尤其是在需要避免潛在腐蝕的高端應(yīng)用中，可以作為制冷劑使用。

滅火劑：在需要無水滅火的地方，C4F8可以作為滅火劑使用，特別是在電子精密儀器的滅火系統(tǒng)中。