芯片封裝
芯片的封裝工藝始于將晶圓分離成單個的芯片。劃片有兩種方法:劃片分離或鋸片分離。
劃片法:劃片法或鉆石劃法是工業界開發的第一代劃片技術。此方法要求用鑲有鉆石尖端的劃片器從劃線的中心劃過,并通過折彎晶圓將芯片分離。當芯片厚度超過10而1時,劃片法的可靠性就會降低。
鋸片法:更厚晶圓的出現使得鋸片法的發展成為劃片工藝的首選方法。鋸片機由下列部分組成:可旋轉的品圓載臺,自動或手動的劃痕定位影像系統和一個鑲有鉆石的圓形鋸片。此工藝使用了兩種技術,并且每種技術開始都用鉆石鋸片從芯片劃線上經過。對于薄的芯片,鋸片降低到芯片的表面劃出一條深人1/3芯片厚度的淺檀。芯片分離的方法仍沿用劃片法中所述的圓柱滾軸加壓法。
第二種劃片的方法是用鋸片將晶圓完全鋸開成單個芯片。
對要被完全鋸開的晶圓,首先將其貼在一張彈性較好的料膜上。在芯片被分離后,還會繼續貼在塑料膜上,這樣會對下一步提取芯片的工藝有所幫助。由于鋸片法劃出的芯片邊緣效果較好,同時芯片的側面也較少產生裂紋和崩角,所以鋸片法一直是劃片工藝的首選方法。
取放芯片
劃片后,分離的芯片被傳送到一個工作臺來挑選出良品〈無墨點芯片)。在手動模式下,由操作工手持真空吸筆將一個個無墨點芯片取出放人到一個分區盤中。對于貼在料膜上進人工作臺的晶圓,首先將其放在一個框架上,此框架將料膜伸展開。塑料膜的伸展就將芯片分離開,這樣就輔助了下一道取片的操作。
在自動模式中,存有良品芯片(從晶圓電測)位置數據的磁盤或磁帶被上載到機器后,真空吸筆會自動棟出良品芯片并將其置人用在下一工序中分區盤里。
芯片檢查
在繼續余下的操作前,芯片會經過一道光學檢查儀。我們最關心的是芯片邊緣的質量,不應有任何崩角和裂紋。此工藝還可以分揀出表面的不規則性,例如表面劃痕和污染物。這項檢查可以用顯微鏡人工檢查或用光學成像系統來自動檢查。在這一步,芯片已經準備好進人封裝體中了。
粘片
粘片有幾個目的:在芯片與封裝體之間產生很牢固的物理性連接,在芯片與封裝體之間產生傳導性或絕緣性的連接,作為一個介質把芯片上產生的熱傳導到封裝體上。
對粘片的要求是其永久的結合性。此結合不應松動或在余下的流水作業中變壞或在最終的電子產品使用中失效。尤其是對應用于很強的物理作用力下,例如火箭中的器件,此要求顯得格外重要。此外,粘片材料的選用標準應為無污染物和在余下的流水作業的加熱環節中不會釋放氣體。最后,此工藝本身還應該有高產能且經濟實惠。
致芯小編就先科普這么多了,相信大家已經暈乎乎了。
審核編輯:湯梓紅
-
芯片
+關注
關注
459文章
51836瀏覽量
432335 -
晶圓
+關注
關注
52文章
5063瀏覽量
128915 -
封裝工藝
+關注
關注
3文章
60瀏覽量
8087
原文標題:芯片的封裝工藝始于將晶圓分離成單個的芯片
文章出處:【微信號:zhixinkeji2015,微信公眾號:芯片逆向】歡迎添加關注!文章轉載請注明出處。
發布評論請先 登錄
相關推薦
新型封裝工藝介紹
mos封裝工藝是什么,MOS管封裝類型
功率模塊封裝工藝

評論