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IGBT中的MOS結構—反型層論述

冬至子 ? 來源:橘子說IGBT ? 作者:orange ? 2023-11-29 14:08 ? 次閱讀

在“IGBT中的若干PN結”一章中我們提到,IGBT是由BJT(雙極型晶體管)和MOSFET(金屬氧化物半導體場效應管)所構成,BJT的結構和機理前面已經做了詳細論述,下面我們來看看MOS,其截面如圖所示,紅色虛線框內。

注意,這里我們直接以最先進的溝槽柵IGBT中的MOS結構為例進行論述,MOS的發展歷程中經歷了不同的結構演變,包括平面型、V字型等,基本原理相似,但各有優缺點,在此不做對比,感興趣的朋友可以另查閱文獻了解。

IGBT中的MOS由N+、P-base、N-drift、N-buffer以及Poly(氧化硅包裹)組成,其中顯然包含了一個寄生的三極管,由N+、p-base和N-buffer組成,工作中要盡量避免這個三極管工作,其原因在上一章中已做論述;此外還包含了一個寄生二極管,由P-base和N-drift組成。

MOS也是一個三端元器件,分別為N+對應的源極,N-buffer對應的漏極,以及Poly對應的柵極。

圖片

當給柵極施加正電壓,當電壓增大到一定程度,靠近柵極的局域P-base會發生反型(陰影部分),變成N型,使得N+區域與N-drift區域連通,MOS導通。所以,與BJT不同,MOS是一個電壓控制性器件。下面簡要分析一下,反型層的形成機制。

圖片

回顧一下P型和N型的定義,是根據半導體能帶與費米能級之間相對位置而來,所以,對于反型層的理解,我們也需要從能帶的變化來著手分析。

從圖中A到B的截面,分別為半導體層、氧化硅層和多晶硅層(柵極)。假設柵極上施加電壓為圖片,我們看看圖片圖片三種情況下的能帶變化。

1.圖片

因為在溫度確定的情況下,費米能級的位置是確定的,所以圍繞費米能級,很容易畫出MOS結構的能帶圖如下。(這里把多晶硅視為金屬,且功函數與硅相同,這是與實際情況是有偏差的,后面再做分析)。

圖片

2.圖片

柵極施加負電壓,柵極及靠近柵極區域的能級電子被排斥,相當于電子占據導帶能級的概率降低,即向真空電子能級方向遠離費米能級。電子被排斥,相當于空穴被吸引,所以在半導體與絕緣層界面會形成一層空穴積累層。

圖片

3.圖片

柵極施加正電壓,但本征能級圖片在費米能級圖片以上。柵極及靠近柵極區域的能級電子被吸引,相當于電子占據導帶能級的概率升高,即向費米能級靠近。

圖片

4.圖片

柵極施加正電壓增大,使得本征能級圖片依然達到費米能級圖片以下。定義圖片=圖片所對應的電壓為圖片(Threshold Voltage,閾值電壓)。半導體表面附近的費米能級更加靠近導帶,P型半導體即反型為N型半導體。

圖片

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