非接觸精密除塵設(shè)備在AI芯片領(lǐng)域的應(yīng)用主要包括以下幾個(gè)方面:
芯片封裝過程:在AI芯片的封裝過程中,非接觸除塵設(shè)備可以用于清除芯片封裝后產(chǎn)生的異物,保證芯片的清潔度和質(zhì)量。
FAB設(shè)備中的輔助清潔:非接觸除塵設(shè)備可以內(nèi)置于FAB設(shè)備中,輔助搬運(yùn)機(jī)器人傳遞晶圓過程中的清潔,確保生產(chǎn)過程中的衛(wèi)生和潔凈度。
晶圓研磨后期的異物清除:在晶圓研磨后期,非接觸除塵設(shè)備可以用于清除晶圓表面的異物,保證晶圓的清潔度和質(zhì)量。
內(nèi)存芯片激光標(biāo)記后的殘留物清除:在內(nèi)存芯片進(jìn)行激光標(biāo)記后,非接觸除塵設(shè)備可以清除標(biāo)記后的殘留異物,保證芯片的質(zhì)量和性能。
芯片流轉(zhuǎn)用托盤的異物清除:在芯片流轉(zhuǎn)過程中,非接觸除塵設(shè)備可以用于清除托盤上的異物,保證生產(chǎn)過程中的衛(wèi)生和潔凈度。
芯片貼片前后的異物去除:在芯片貼片前后,非接觸除塵設(shè)備可以用于去除芯片表面的異物,保證芯片的質(zhì)量和性能。
此外,非接觸式除塵設(shè)備還廣泛應(yīng)用于其他領(lǐng)域,如半導(dǎo)體、芯片、封裝、AOI視覺檢測設(shè)備、顯示器檢測領(lǐng)域等。這些領(lǐng)域的應(yīng)用可以涉及芯片制造、檢測、封裝等各個(gè)環(huán)節(jié),旨在保證芯片的清潔度和質(zhì)量,提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品性能。
審核編輯 黃宇
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AI芯片
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