工業CT斷層掃描儀的精度主要由三個指標來衡量：空間分辨率、對比度分辨率和測量誤差。

1、空間分辨率
空間分辨率指的是工業CT在一定物質密度下能分辨物體最小特征大小的能力。通常用線對線距離、點對點距離、透過孔大小等表達。在實際應用過程中，空間分辨率既與工業CT系統本身的分辨率有關，也與X射線源的能量有關。

2、對比度分辨率
對比度分辨率指的是工業CT在對物體進行成像時，能夠清晰區分物體內部的不同密度區域，并能夠獲取到物體的同質性與異質性分布情況。工業CT的對比度分辨率主要受到工業CT系統本身的能量分辨率、X射線源的能量和檢測器靈敏度等因素的影響。

3、測量誤差
測量誤差指的是工業CT測量結果與真實值之間可能存在的偏差。在工業CT的應用中，測量誤差主要來自于X射線源與檢測器之間對工件的不同立體角度，以及X射線源、檢測器和工件之間的相對運動造成的誤差。在修正方面，校準方法包括標準工件校準法、省略式標定法等眾多，常用的還有數據疊加法校準、數據后處理法等方式。

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