12月28日，中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“中微公司”）刻蝕設(shè)備Primo D-RIE順利付運(yùn)國(guó)內(nèi)優(yōu)秀的集成電路制造及研發(fā)設(shè)計(jì)服務(wù)商——廣州增芯科技有限公司（以下簡(jiǎn)稱“增芯”），本次交付的Primo D-RIE也是該客戶12英寸智能傳感器及特色工藝晶圓生產(chǎn)線建成后搬入的首臺(tái)設(shè)備。

增芯首臺(tái)設(shè)備搬入儀式在廣州市增城智能傳感器產(chǎn)業(yè)園舉行，增城區(qū)政府領(lǐng)導(dǎo)、增芯領(lǐng)導(dǎo)團(tuán)隊(duì)、中微公司代表及眾多合作伙伴出席儀式。增芯12英寸先進(jìn)智能傳感器及特色工藝晶圓制造量產(chǎn)線項(xiàng)目，占地面積達(dá)370畝，分兩期建設(shè)。根據(jù)規(guī)劃，項(xiàng)目一期將建設(shè)月加工能力達(dá)2萬(wàn)片的12英寸MEMS制造生產(chǎn)線。隨著首臺(tái)設(shè)備的順利搬入，也標(biāo)志著項(xiàng)目建設(shè)進(jìn)入全新的階段。

此次付運(yùn)至客戶的12英寸雙反應(yīng)臺(tái)多反應(yīng)腔主機(jī)系統(tǒng)Primo D-RIE，專為優(yōu)化產(chǎn)量而設(shè)計(jì)，可以配置多達(dá)三個(gè)雙反應(yīng)臺(tái)反應(yīng)腔，每個(gè)反應(yīng)腔既可以獨(dú)立操作，又可以同時(shí)加工兩片晶圓。憑借在大規(guī)模生產(chǎn)中穩(wěn)定可靠的性能表現(xiàn)、較低的生產(chǎn)成本、較高的生產(chǎn)效率和卓越的芯片加工性能，Primo D-RIE已獲得眾多全球領(lǐng)先的芯片制造商的認(rèn)可與肯定。

儀式上，增芯董事長(zhǎng)陳曉飛談到項(xiàng)目時(shí)表示，“今年9月，增芯項(xiàng)目主體結(jié)構(gòu)正式封頂，僅短短三個(gè)月的時(shí)間，項(xiàng)目首臺(tái)設(shè)備Primo D-RIE已正式搬入并裝機(jī)。這其中離不開相關(guān)部門的大力支持，也離不開全體員工鍥而不舍的拼搏奮斗，更離不開如中微公司一般的優(yōu)秀合作伙伴的全力配合及共同努力。”

中微公司副總裁、中微廣州總經(jīng)理張凱先生表示，“中微公司Primo D-RIE作為首臺(tái)設(shè)備順利搬入客戶生產(chǎn)線展現(xiàn)了客戶對(duì)中微公司技術(shù)能力與卓越服務(wù)的高度信任，今后，在設(shè)備安裝、工藝調(diào)試、產(chǎn)品通線和量產(chǎn)過(guò)程中，我們也將持續(xù)為客戶提供優(yōu)質(zhì)的服務(wù)與支持，助力客戶實(shí)現(xiàn)發(fā)展和盈利目標(biāo)，和行業(yè)伙伴一起為加快構(gòu)建集成電路產(chǎn)業(yè)格局貢獻(xiàn)力量。”

中微公司持續(xù)拓展和優(yōu)化刻蝕設(shè)備產(chǎn)品線，以滿足客戶日益嚴(yán)苛的技術(shù)需求。除Primo D-RIE雙反應(yīng)臺(tái)刻蝕設(shè)備以外，CCP刻蝕設(shè)備系列還包括雙反應(yīng)臺(tái)刻蝕設(shè)備Primo AD-RIE、單反應(yīng)臺(tái)刻蝕設(shè)備Primo SSC AD-RIE、Primo HD-RIE和刻蝕及除膠一體化的 Primo iDEA。此外，中微公司的產(chǎn)品線還包括薄膜設(shè)備和MOCVD設(shè)備。這些產(chǎn)品為客戶提供了全面綜合的設(shè)備解決方案，用于先進(jìn)工藝和特色工藝的多種應(yīng)用。