薄膜作為一種重要的材料形態，在各個領域中都有著廣泛的應用。在電子器件方面，薄膜被廣泛應用于集成電路、顯示器件、太陽能電池等領域。薄膜提供了更高的集成度和靈活性，使得電子器件在體積和性能上都有了顯著的提升。

薄膜未來發展也具有廣闊的前景。首先，納米薄膜在材料研究和應用中扮演著重要角色。納米級薄膜能夠充分利用尺寸效應和界面效應，具有優異的物理和化學性能，因此在光電器件、傳感器、儲能器件等方面有著廣泛的應用前景。其次，功能化薄膜的發展是薄膜研究的一個重要方向。

電子薄膜材料電阻率測試面臨的挑戰

電子薄膜種類多，電阻率特性不同

- 需選擇適合的SMU進行測試

被測樣品形狀復雜，需選擇適當的修正參數

- 厚度修正系數對測試結果的影響F(W/S)

- 圓片直徑修正系數對測試結果的影響

- 溫度修正系數對測試結果的影響

環境對測試結果有影響

- 利用電流換向測試消除熱電勢誤差

利用多次平均提高測試精度

- 需考慮測試成本

電子薄膜材料表面電阻率測試

表面電阻率測試常用方法是四探針法與范德堡法，但對電子薄膜材料，范德堡法很少應用。多數情況下，電子薄膜材料表面電阻率測試對測試儀器的要求沒有二維材料/石墨烯材料高，用源表加探針臺即可手動或編寫軟件自動完成測試。

審核編輯：劉清