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請問丙酮在芯片制造中有什么作用呢?丙酮怎樣防護?

中科院半導體所 ? 來源:Tom聊芯片智造 ? 2024-01-22 10:06 ? 次閱讀
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丙酮在半導體制造中發揮關鍵作用,是不可或缺的清洗劑。它憑借出色的溶解能力和揮發性,助力芯片制造流程的順利進行。

學過化學的朋友對于丙酮應該不陌生,丙酮在各個行業均發揮了重要作用,在塑料制造 ,化妝品,織物清潔等方面比較常見。然而您知道在芯片制造行業,丙酮有什么作用嗎?操作中需要注意什么?用在哪些半導體工序中嗎?

什么是丙酮?

丙酮(Acetone),是一種無色、易燃的液體,化學式為 CH3 (CO) CH3,它是最簡單的酮類化合物,可以通過酮化反應制備,因其特有的氣味而易于識別。沸點:56.05°C ,密度:0.791 g/mL (20 °C)。

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溶解性強:丙酮是極性有機溶劑,與水,醇,醚和大部分有機溶劑都可以混溶。

揮發性強:當丙酮暴露在空氣中時,它會迅速地蒸發,形成蒸汽,其揮發性比水要強。這種特性使得丙酮在一些需要快速干燥的應用中非常有用。

易燃性:在常溫下,它可以迅速產生足夠的蒸汽與空氣形成可燃混合物。一旦遇到明火等,就會發生燃燒和爆炸。

毒性:長時間或大劑量暴露于其蒸汽中,輕度暴露可引起眼睛、皮膚、鼻子和喉嚨的刺激,嚴重時可能導致頭痛、眩暈、惡心、嘔吐、嗜睡,甚至喪失意識。如果長時間接觸或大劑量吸入,可能對肝、腎和神經系統產生慢性毒性。

丙酮在芯片制造中有什么用?

丙酮(Acetone)在半導體制造中的主要應用是作為一種清洗劑。

丙酮主要被用于清洗有機污染物,如光刻膠、油脂,顆粒等。其分子結構中含有極性的酮基,使其具有很好的溶解能力。丙酮揮發性強,容易蒸發,能夠在清洗后迅速去除,不會留下殘留物,因此是一種理想的清洗劑。

在去膠工序中,丙酮可以用來清洗和去除不需要的光刻膠。丙酮是一種極性溶劑,其分子中的氧原子可以與光刻膠中的極性基團形成氫鍵,使得光刻膠可以溶解在丙酮中,去膠能力十分強勁。

丙酮怎樣防護?

在處理丙酮時,一定要確保良好的通風,避免在封閉的空間中使用丙酮,在封閉的空間中容易形成可燃蒸汽,具有一定的風險。

丙酮對皮膚有刺激性,應避免接觸皮膚和眼睛。在處理丙酮時,應佩戴適當的防護設備,如化學防護手套、防護眼鏡等。

不要靠近火源,因為丙酮是易燃的,可以在火源或高溫下燃燒。處理丙酮的地方應配備適當的滅火設備,以備不時之需。

儲存丙酮時,應放在陰涼、通風的地方,并確保容器密封。避免靠近熱源和做好防靜電處理,以防止泄漏或爆炸。








審核編輯:劉清

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