一、引言

在當(dāng)今高度自動化的工業(yè)環(huán)境中，無線射頻識別（RFID）技術(shù)已經(jīng)成為實現(xiàn)高效生產(chǎn)的重要一環(huán)。特別是在半導(dǎo)體制造業(yè)中，由于產(chǎn)品的高價值和復(fù)雜性，生產(chǎn)過程的追蹤和管理顯得尤為重要。健永科技RFID讀寫器以其出色的性能和穩(wěn)定性，正被廣泛用于半導(dǎo)體制造行業(yè)中。

二、RFID技術(shù)簡介

RFID技術(shù)是一種非接觸式的無線射頻識別技術(shù)，無需建立機(jī)械或光學(xué)接觸即可實現(xiàn)RFID讀寫器對物體RFID標(biāo)簽的識別與追蹤。RFID技術(shù)以其獨特的非接觸式識別能力，在現(xiàn)代自動化管理和智能識別系統(tǒng)中扮演著重要的角色。

三、方案目標(biāo)

本方案的目標(biāo)是通過引入健永科技的RFID技術(shù)，提高半導(dǎo)體制造過程的效率，減少錯誤，并優(yōu)化生產(chǎn)流程。

提高生產(chǎn)效率：通過RFID技術(shù)實現(xiàn)自動化、快速的生產(chǎn)流程管理，減少人工干預(yù)和錯誤率。

提升產(chǎn)品質(zhì)量：通過追蹤每個產(chǎn)品的生產(chǎn)過程和質(zhì)量信息，確保產(chǎn)品的一致性和可靠性。

優(yōu)化庫存管理：實時了解庫存情況，自動進(jìn)行補(bǔ)貨提醒，降低庫存成本和缺貨風(fēng)險。

四、實施步驟

1.讀卡器選擇：根據(jù)生產(chǎn)線的實際需求，可選擇合適的RFID讀寫器設(shè)備。如生產(chǎn)線上可選擇JY-V640半導(dǎo)體RFID讀寫器、電子貨架上可選擇JY-V620半導(dǎo)體電子貨架RFID讀寫器、晶圓存儲柜上可選擇JY-V610半導(dǎo)體RFID讀寫器等。

2.讀卡器部署：根據(jù)不同的應(yīng)用場景，將讀卡器安裝在適合的工位節(jié)點處，如電子貨架上識別位的后方、晶圓存儲柜內(nèi)的支撐板內(nèi)等。

3.數(shù)據(jù)采集與集成：利用RFID讀寫器采集生產(chǎn)過程中的所有相關(guān)數(shù)據(jù)，包括物料信息、生產(chǎn)批次、質(zhì)檢結(jié)果等，并將這些數(shù)據(jù)集成到生產(chǎn)管理系統(tǒng)中。

4.數(shù)據(jù)處理與分析：通過數(shù)據(jù)中心對采集的數(shù)據(jù)進(jìn)行處理和分析，生成報告和圖表，幫助生產(chǎn)團(tuán)隊了解生產(chǎn)狀況、發(fā)現(xiàn)問題并進(jìn)行改進(jìn)。

四、健永科技RFID讀寫器在半導(dǎo)體制造業(yè)中的應(yīng)用

1.半導(dǎo)體生產(chǎn)線

將TI玻璃管標(biāo)簽部署在晶圓盒上，再通過半導(dǎo)體RFID讀寫器識別晶圓盒玻璃管標(biāo)簽內(nèi)的物料型號、規(guī)格、加工流程等信息，對生產(chǎn)過程進(jìn)行精確的控制和調(diào)整

2.晶圓硅晶片清洗

將半導(dǎo)體RFID讀寫器部署在晶圓硅片清洗工位的上方，當(dāng)裝有TI玻璃管標(biāo)簽的晶圓盒被送達(dá)清洗區(qū)域，半導(dǎo)體RFID讀寫器將自動地讀取并確定該晶圓盒是否到達(dá)其預(yù)設(shè)位置。清洗作業(yè)完成后，所采集到的TI標(biāo)簽信息將上傳至管理系統(tǒng)，同時對已經(jīng)完成清洗步驟的晶圓硅片進(jìn)行標(biāo)記。當(dāng)半導(dǎo)體RFID讀寫器再次讀取到該標(biāo)簽時，可以獲知晶圓硅片已完成了哪些工序，從而防止工序混淆情況的發(fā)生。

3.晶圓存儲柜管理

將半導(dǎo)體RFID讀寫器嵌入到存儲柜承載平臺支撐板內(nèi)，當(dāng)晶圓盒放入存儲柜時，半導(dǎo)體RFID讀寫器識別TI玻璃管標(biāo)簽，獲取晶圓盒的貨品信息，確認(rèn)晶圓盒是否存放正確，同時獲取晶圓芯片的儲存位置，在必要時可立即找到所存儲的晶圓。

4.半導(dǎo)體電子貨架管理

將半導(dǎo)體電子貨架RFID讀寫器安裝于半導(dǎo)體電子貨架識別位的后方。當(dāng)晶圓盒被放置在半導(dǎo)體電子貨架上時，位于識別位上的半導(dǎo)體RFID讀寫器通過紅外線感應(yīng)并觸發(fā)天線讀取TI標(biāo)簽，從而收集晶圓盒的信息。同時半導(dǎo)體電子貨架前端的顯示屏將實時顯示晶片產(chǎn)品的種類。當(dāng)晶圓盒被移除時，半導(dǎo)體RFID讀寫器無法感知到TI標(biāo)簽的存在，便會在顯示屏上顯示相應(yīng)的產(chǎn)品已被取走。

5.半導(dǎo)體天車管理

站點識別：在半導(dǎo)體天車的軌道上安裝RFID標(biāo)簽，半導(dǎo)體RFID讀寫器部署在天車上，當(dāng)RFID讀寫器接收行車軌道站點處的RFID標(biāo)簽后，即可獲得天車的行車位置信息，對天車進(jìn)行實時的位置動態(tài)監(jiān)測，并根據(jù)自身所在的位置進(jìn)行線路規(guī)劃與調(diào)度，確保天車的作業(yè)安全距離與運輸效率。

搬運管理：當(dāng)天車搬運FOUP晶圓盒時，半導(dǎo)體RFID讀寫器接收來自TI玻璃管標(biāo)簽的相關(guān)信息，確保所搬運的FOUP晶圓盒是準(zhǔn)確。在行駛到相應(yīng)的存儲/放置位置時，半導(dǎo)體RFID讀寫器再次識別目的地的標(biāo)簽信息，并將符合的信息的FOUP晶圓盒放到相應(yīng)的位置，同時將拿取到放置時所有的信息上傳到管理系統(tǒng)處。

五、實現(xiàn)效果

1.提高生產(chǎn)效率：減少由于追蹤和管理困難造成的時間延誤，從而提高整體生產(chǎn)效率。

2.降低成本：優(yōu)化生產(chǎn)流程，減少浪費，降低生產(chǎn)成本。

3.提升品質(zhì)：實時追蹤產(chǎn)品狀態(tài)，提高品質(zhì)檢測的準(zhǔn)確性和效率，從而提升最終產(chǎn)品的質(zhì)量。

審核編輯 黃宇