為了最大限度地提高生產效率,新的晶圓工廠和正在翻新升級的晶圓工廠選擇采用RFID技術應用在半導體制造業上,通過RFID技術的非接觸式采集信息特性,對晶圓盒在生產、存儲、運輸過程中進行信息追蹤和管理,提升半導體制造 業的生產效率和產品質量。
Wafer晶圓盒在半導體生產中主要起到放置盒輸送晶圓的作用,能夠降低在運輸過程中被污染的風險。在半導體生產車間,將TI標簽植入到wafer晶圓盒上,并在TI標簽上記錄著晶圓盒的信息,如尺寸、種類、加工時間/次數等,RFID讀寫頭JY-V640則是用來讀取wafer晶圓盒的標簽信息,則能夠大大提高生產線上的工作效率。
在半導體生產線上,TI玻璃管標簽部署在晶圓盒上,晶圓盒玻璃管標簽內的材料型號、規格、加工流程等信息通過RFID讀寫頭進行識別,以準確控制和調整生產過程。RFID讀寫頭還可以支持對晶圓盒的實時監控。在生產線上,讀寫器會實時讀取經過的晶圓盒標簽信息,并將信息上傳到上位機軟件中。生產管理人員可以隨時了解生產線的運行狀況,及時調整生產計劃,確保生產順利進行。
在晶圓清洗過程中,半導體RFID讀取器讀取清洗區域的TI玻璃管標簽,以確定晶圓的信息及其到達清洗位置的時間。清洗任務完成后,記錄清洗完成時間,并標記清洗后的硅片。將有關此過程的所有信息上傳到管理系統,以避免過程混亂。
在晶圓盒存儲柜的管理中,RFID讀寫頭嵌入到存儲柜載體平臺的支撐板中。在接入晶圓盒時,RFID讀寫頭會自動將讀取的晶圓盒接入信息和時間上傳到管理系統的數據庫進行存儲,并實時更新接入信息。
當晶圓盒放置在半導體電子貨架上時,電子貨架上的RFID讀寫頭會自動讀取玻璃管標簽,采集存儲在電子貨架上的晶圓盒信息,并在前方顯示屏上顯示晶圓產品的部分類型信息;如果RFID讀寫頭在取出晶圓盒后無法讀取該位置的標簽,則會在顯示屏上顯示相應的產品已被取出。
半導體橋式起重機站識別和裝卸管理,在橋式起重機上安裝RFID讀寫頭,在列車軌道節點上安裝RFID標簽。在進行運輸作業時,RFID讀寫頭可以讀取軌道節點處的RFID標簽,以獲取橋式起重機的行駛位置信息。可以對橋式起重機的位置進行實時動態監控,并可根據自身位置進行路線規劃和調度,以保證橋式起重機運行的安全距離和運輸效率。當橋式起重機到達相應點時,RFID讀寫頭將識別目的地的標簽信息,并將該批晶圓信息輸入到目的地的晶圓存儲信息數據庫中。工作人員可以在管理系統中快速找到晶圓盒的所有信息。
審核編輯 黃宇
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