紫外工業相機是一種特殊的相機,它能夠捕捉到紫外光并把其轉化為可見光。其原理主要是基于紫外光和可見光的波長不同,以及不同物質對紫外光的吸收和反射特性。紫外工業相機可有效地識別和檢測出產品缺陷,提高產品質量,提升效率,降低成本。可應用半導體檢測,材料表面檢測、顯微鏡檢查、玻璃缺陷檢測、珠寶瑕疵檢測等。
下面我們來看兩個關于半導體的應用:
裸晶圓檢測
半導體制造的原材料是單晶硅,即所謂的裸晶圓或襯底晶圓。在檢測時,有的污染或缺陷只有幾微米大小。波長更短的紫外線在識別晶圓的表面缺陷時的準確度才是最高的。用紫外線光源照射裸晶圓,并同時用紫外相機、可見光相機和短波紅外相機一起捕捉晶圓表面的高分辨率圖像。然后使用先進的圖像處理算法進行圖像分析,就可以對各種缺陷進行識別和分類。有幾種類型的缺陷可以通過紫外相機檢測出來。其中包括在制造過程中偶然從環境引入的微粒(如灰塵)或因處理不當而造成的劃痕。
圖案品圓檢查
圖案品圓的檢測包括識別和分析品圓表面在進行圖案光刻時可能產生的缺陷或錯誤,例如晶圓表面上圖案的缺陷、錯位以及特征缺失等問題。在檢測時,用紫外線照射晶圓,晶圓表面的圖案和周圍材料對紫外線會進行不同程度的反射或吸收。然后,紫外照相機會捕捉品圓表面的圖像,進行圖像分析,以確定反射或吸收的紫外線的差別。
為保證電子器件能夠完美運行,就要求器件內部驅動元件--微芯片,其產品生產出來后必須具有極高的質量標準和可靠性。很多這種制造過程都會采用紫外光源,這就需要在制造過程的各個階段都使用紫外敏感型的相機進行質量檢測。由于能夠檢測到用其他成像技術難以識別的缺陷和異常情況,所以紫外相機在確保半導體元件的質量和可靠性方面起到了至關重要的作用。
隨著電子行業的發展,半導體制造業對高質量紫外相機的需求無疑將會繼續增長。通過借助紫外相機的優勢,半導體制造商們可以確保產品的質量和可靠性處于最高標準,并同時最大限度地降低成本。
-
檢測
+關注
關注
5文章
4577瀏覽量
92404 -
工業相機
+關注
關注
5文章
347瀏覽量
24213
發布評論請先 登錄
相關推薦





【求購】基恩士工業相機/康耐視工業相機/CCD工業相機等等工業鏡頭
如何選擇合適的工業相機,工業相機的優勢
PHOTONIS紫外線相機 (UV)介紹

評論